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利用螺旋波激发等离子体化学气相沉积(LPP-CVD)技术,以甲烷和氦气为反应气体产生等离子体.通过采集到甲烷的可见光到紫外发射光谱,对甲烷等离子体进行原位诊断,发现存在CH、Ha及Hβ等碎片粒子的光辐射,同时,分析了不同入射功率、气压下CH粒子以及Hβ、Hγ的相对强度变化情况.结果表明:CH粒子的相对强度随着射频功率是先增大而后减小,随工作气压的增大而逐渐减小;随气压及功率的增加,Hβ、Hγ相对强度变化的总体趋势都是先增加而后减小的. 相似文献
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Komamiya S Le Diberder F Abrams GS Adolphsen CE Averill D Ballam J Barish BC Barklow T Barnett BA Bartelt J Bethke S Blockus D Bonvicini G Boyarski A Brabson B Breakstone A Bulos F Burchat PR Burke DL Cence RJ Chapman J Chmeissani M Cords D Coupal DP Dauncey P DeStaebler HC Dorfan DE Dorfan JM Drewer DC Elia R Feldman GJ Fernandes D Field RC Ford WT Fordham C Frey R Fujino D Gan KK Gatto C Gero E Gidal G Glanzman T Goldhaber G Gomez Cadenas JJ Gratta G Grindhammer G Grosse-Wiesmann P Hanson G 《Physical review letters》1990,64(9):987-990
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Jung CK Van Kooten R Abrams GS Adolphsen CE Averill D Ballam J Barish BC Barklow T Barnett BA Bartelt J Bethke S Blockus D Bonvicini G Boyarski A Brabson B Breakstone A Bulos F Burchat PR Burke DL Cence RJ Chapman J Chmeissani M Cords D Coupal DP Dauncey P DeStaebler HC Dorfan DE Dorfan JM Drewer DC Elia R Feldman GJ Fernandes D Field RC Ford WT Fordham C Frey R Fujino D Gan KK Gatto C Gero E Gidal G Glanzman T Goldhaber G Gomez Cadenas JJ Gratta G Grindhammer G Grosse-Wiesmann P Hanson G 《Physical review letters》1990,64(10):1091-1094
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