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用发射光谱法测量氮气直流辉光放电的转动温度 总被引:2,自引:2,他引:2
本文报道了氮气气压分别为10和20Pa时,对直流辉光放电的发射光谱进行测量和分析的结果。选择的研究对象为N2放电中形成的N2^ B^2∑u^ →X^2∑g^ 跃迁的Δv=v′-v″=0谱带系中v′=0→v″=0谱带的R支。在阴极背面辉光区、阴极鞘层区、正柱区以及阳极辉光区中分别选择一点进行了转动分辨的发射光谱的测量。利用自己编写的光谱拟合程序,获得了相应的实验条件下N2^ 的转动温度,给出了转动温度随放电电压的变化趋势,其结果可以用直流放电的帕邢定律得到很好的解释。在10和20Pa气压下,放电的阴极鞘层区、正柱区、阳极辉光区中的转动温度都随放电电压呈现出了不同的变化趋势,甚至是完全相反的变化趋势。我们认为这是由于气压不同时,放电状态不同所致:气压为10Pa时的放电是正常辉光放电,而气压为时20Pa的放电为反常辉光放电。 相似文献
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采用MEVVA源(MetalVaporVacuumArcIonSource)离子注入合成βFeSi2薄膜,用常规透射电镜和高分辨电镜研究了不同制备参数下βFeSi2薄膜的显微结构变化.研究结果表明:调整注入能量和剂量,可以得到厚度不同的βFeSi2表面层和埋入层.制备过程中生成的α,β,γ和CsCl型FeSi2相的相变顺序为γFeSi2→βFeSi2→αFeSi2,CsClFeSi2→βFeSi2→αFeSi2或βFeSi2→αFeSi2.当注入参数增加到60kV,4×1017ionscm2,就会导致非晶
关键词:
β-FeSi2
半导体薄膜
金属硅化物
离子注入
透射电子显微镜 相似文献
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介绍了用等离子体法制备铁纳米颗粒的技术,并与传统的共热解、电弧法等进行了比较;给出了等离子体制备铁纳米颗粒的实验研究进展.结果表明,采用新型等离子体方法制备铁纳米颗粒是一种高效、低污染、适合工业化生产的方法. 相似文献