光刻机投影物镜热像差主动补偿方法研究

非均匀照明导致的热像差是光刻机投影物镜工作过程中成像性能劣化的主要因素,对其补偿是必要的。针对物镜热像差的补偿问题,提出了分区式加热补偿镜的方案,利用玻璃材料折射率随温度变化的特点,采用电薄膜加热器在镜片的周围加热,从而产生可控的波前变化以补偿物镜由照明引起的热像差。建立了补偿方案的理论模型,并以一片平板透镜为对象开展了实验验证,实验结果表明,补偿前后镜片的波前由12.52nm[均方根(RMS)]变化至2.95nm(RMS),表明该补偿方案是可行、有效的。     

基于荧光光谱分析的玉米早期斑病害预测模型

斑病害在全球玉米产区均有爆发,严重影响玉米产量与品质,是一种常见的叶类疾病。荧光光谱技术能够快速、无损、准确地反映作物生理信息,动态检测其逆境响应规律。以玉米为研究对象,基于荧光光谱和生理参数(SPAD和Fv/Fm)融合分析,探究玉米生理参数对不同程度斑病害的响应规律,构建荧光光谱反演模型。首先,利用相关分析与峰值分析筛选荧光光谱的敏感波段,采用多元散射校正(MSC)、标准正态变量变换(SNV)、多项式平滑(S-G)、 FD光谱一阶导数、 SD光谱二阶导数等5种预处理及MSC-SG-FD, MSC-FD-SG, SNV-SG-FD, SNV-SG-SD等4种建模组合方法,以相关系数R²和均方根误差RMSE为模型效果评价指标,确定荧光光谱反演生理参数模型的最优方法。结果表明：不同斑病害程度下荧光光谱特性的整体变化趋势一致,但强度差异显著,在波段600.000～800.000 nm内,光谱反射率会出现明显的峰中心,达到极值。在波段900.000 nm之后,反射率趋于平稳,特征明显减少。对于潜伏期叶片,SPAD与Fv/Fm的建模最优方法均为SNV-SG-FD,R     

高效液相色谱法测定复方罗布麻片Ⅰ中氢氯噻嗪含量的不确定度评定

采用高效液相色谱法测定复方罗布麻片I中氢氯噻嗪含量,对测定结果的不确定度进行评定.通过建立数学模型,分析测定过程中不确定度来源及影响因素,分别评价各不确定度分量,计算合成标准不确定度和扩展不确定度.在95％置信区间下,扩展不确定度为0.028 mg,复方罗布麻片I中氢氯噻嗪含量可表示为(1.58±0.028)mg(k=...     

大口径光学元件重力变形补偿的设计分析

根据弹性板壳理论,建立了大口径光学元件的几种理论模型。提出了一种补偿大口径光学元件重力变形的方法,该方法通过在透镜镜框边缘施加作用力,使透镜产生与重力变形反向的挠性变形,抵消重力变形的影响。建立了带镜框的大口径透镜的分析模型,证明了通过优化施加力的大小和支撑点位置使透镜产生挠性变形的方法能有效消除重力变形的影响。     

基于CdSe/ZnS核壳量子点薄膜的荧光温度传感器

设计了基于CdSe/ZnS核壳量子点薄膜发光谱温变特性的温度传感器。在30~160℃温度范围内,CdSe/ZnS核壳量子点的光致荧光(PL)谱随温度呈现规律性变化。温度升高时,PL谱自参考峰值强度减小、峰值波长增大、半峰全宽增大;而且PL谱自参考峰值强度、峰值波长和半峰全宽温变特性分别非常符合一次、一次和二次拟合函数关系,其对应的相关性指数R2均达到96.6%以上;PL谱峰值波长温变灵敏度达到0.06 nm/℃,分辨率约为0.1℃。同时,采用PL谱自参考峰值强度比单纯的PL谱峰值强度更具有温度测量稳定性和精确性。     

Al/ZnO:Al薄膜结构的荧光增强效应

利用物理气相沉积设备制备了Al/ZnO:Al薄膜样品,研究了该薄膜结构的发光特性。结果表明,在ZnO:Al薄膜表面镀一层Al岛薄膜可以增强其带边荧光,同时在475 nm附近产生蓝光峰。通过在Al岛薄膜和ZnO:Al薄膜之间引入一层5 nm的Ta₂O₅绝缘层可以使ZnO:Al薄膜的带边荧光和蓝光显著增强,并随着Ta₂O₅绝缘层厚度的增大而减弱。通过对Al/ZnO:Al样品进行退火处理可以使带边荧光和蓝光峰分别增强9倍和83倍。基于局域表面等离子体共振理论,计算了Al/ZnO:Al纳米结构的光学散射和吸收截面曲线。实验结果与理论计算相一致。     

改革物理实验考核方法的探讨

在工科院校中,物理实验课是学生进入大学后第一门学习实验基本理论.接受系统实验方法和实验基本技能训练的公共实验课,它对培养未来的高级工程技术人员的素质起着重要作用.而搞好它的考试,对该课程教学质量的提高和培养学生树立严谨、科学和独立探索精神的工作作风是关键的一环.在过去,我们考核沿用传统的做法,即每个班的任课教师对该班的每个学生根据其实验情况(认真程度、完成情况、操作情况)和实验报告确定其成绩.这样做存在许多弊端.评分随意性很大,难以对每个教师的教学质量进行考核,教学质量无法保证和提高,也不可能培养学生严谨的科学态度,难以调动他们的学习积极性.     

Ca-Tb4O7-Fe体系中生成TbFe2的动力学研究

高纯TbFe2 可以作为生产 (TbDy)Fe2 的一种中间合金原料。开发低成本、无污染、直接从氧化铽还原制备高纯TbFe2 的方法具有非常重要的实际意义。本文在已有关于Ca Tb4O7 Fe体系 ,还原扩散法制备TbFe2 合金在热力学上可能的基础上 ,进一步研究了其动力学可行性。XRD物相鉴定证明生成物是TbFe2 ;应用收缩核模型得知 :扩散是反应的控制步骤 ,表观活化能Ea=39kJ·mol- 1 。     

Useful way to compensate for intrinsic birefringence caused by calcium fluoride in optical lithography systems

Calcium fluoride is widely used in optical lithography lenses and causes retardation that cannot be ignored.However, few studies have been conducted to compensate for the retardation caused by calcium fluoride in optical lithography systems. In this Letter, a new index based on orientation Zernike polynomials is established to describe the value of retardation. Then, a method of retardation compensation is described. The method is implemented by clocking calcium fluoride lens elements, and the optimal rotation angles are calculated using a population-based stochastic optimization algorithm. Finally, an example is provided to validate the method.     

1+1/2对转涡轮高压动叶叶顶间隙变化规律及影响作用

为阐明1+1/2对转涡轮高压动叶叶顶间隙高度在变工况时的变化规律,以涡轮流场和高压动叶为整体进行气热双向耦合计算,根据所得温度场对叶片进行热弹单向耦合计算,获取了叶片形变量。不同于常规亚音速涡轮动叶的间隙变化规律,1+1/2对转涡轮高压动叶在较高转速和膨胀比的工况范围内,随着膨胀比降低,前缘间隙高度保持不变,而尾缘间隙高度以二次曲线规律减小。这是由于该工况范围内高压动叶流场展向全超音堵塞,喉道上游流场不受膨胀比变化影响,下游流场的温度随膨胀比减小而升高。相应地,叶片喉道前部温度不变、后部温度升高,导致前缘叶高不变、尾缘因热膨胀伸长。为避免尾缘间隙减小引起碰磨,根据叶片尾缘形变特点增大了设计点的尾缘间隙高度,导致设计工况时叶片后部间隙泄漏流射流速度增大、剪切作用增强,泄漏流流量和损失增加。为保证工作安全的同时提高涡轮效率,有必要发展前、尾缘叶顶间隙独立控制方法,使变工况时前、尾缘的叶顶间隙高度皆在合理范围内。