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移相干涉术的一种新算法:重叠四步平均法 总被引:18,自引:3,他引:15
提出了一种能大大地减小由于移相器的位移误差而引起相位复原误差的新方法,即重叠四步平均法(Overlapping Averaging 4-Frame (OAF) Algorithm)。给出了这种方法的盯们复原精度与移相器的位移误差之间的关系式,从关系式中可见,OAF算法大大地减小由于移相器的位移误差而引起相位复原误差,通过计算机模拟,得到了各种算法的相位复原精度与移相器的位移误差之间的关系曲线,分析 相似文献
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高精度,大口径平面波像差标准—移相式数字平面干涉仪 总被引:4,自引:1,他引:3
介绍研制成的一台移相式数字平面干涉仪,其孔径为φ245mm,用液面作基准标定并消除仪器的系统误差,准确度优于λ/50(峰谷值,λ=0.6328μm),利用计算机辅助干涉术,被测件口径可扩展到φ500mm,该仪器将用于建立高精度,大孔径平面波像差标准。文中阐述了光学干涉仪,移相器及精度校核等问题。 相似文献