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受微加工工艺条件限制,MEMS敏感结构的尺寸等关键参数的相对误差较大,使其在宏观上表现出非理想的运动特性,性能指标也难以满足高精度应用的要求。为消除加工误差的影响,分析了一种MEMS陀螺仪的运动特性和误差耦合机理,提出了一种通过飞秒激光对敏感结构的梁进行刻蚀修调的方法。MEMS陀螺修调前后的运动特性试验表明,修调后的误差系数比修调前降低了50%以上,而误差的稳定性则比修调前提高了约70%,证明提出的飞秒激光刻蚀方法能够抑制微加工误差的影响,提高MEMS陀螺仪的性能。 相似文献
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线振动硅微机械陀螺结构误差参数分离和辨识 总被引:3,自引:5,他引:3
推导了线振动微机械陀螺的三自由度误差力学方程,并详细分析了陀螺耦合误差的产生机理。分析结果表明,各种结构误差是导致陀螺耦合误差信号的主要原因。在此基础上,利用振动和模态理论给出了陀螺结构误差参数的分离和辨识的试验方法和结果。试验结果表明,同相耦合分量和正交耦合分量是微机械陀螺的两种主要误差信号,造成正交耦合的主要原因是驱动轴和检测轴之间的刚度耦合以及驱动轴和检测轴各自的刚度不对称,造成同相耦合的主要原因是驱动轴和检测轴之间的阻尼耦合以及检测轴刚度不对称和驱动力不对称。结构误差参数的分离和辨识试验方法将为下一步的陀螺结构优化、微加工工艺改进以及耦合误差抑制提供基础。 相似文献
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研究了与加工精度相关的结构误差以及结构参数随环境改变产生的仪表误差。在分析机理的前提下,提出了采用数字控制技术来抑制陀螺结构误差的技术方案,即结构的反馈解耦控制,驱动模态的恒频恒幅控制以及检测模态的力反馈解耦控制。利用平均和摄动理论分别对上述控制回路进行建模,并给出了仿真结果。分析和仿真结果表明,上述控制方案能有效消除结构的耦合运动,降低陀螺输出对结构参数的依赖。 相似文献
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基于微机械惯性传感器的卫星电视天线稳定系统 总被引:2,自引:0,他引:2
介绍了一套基于微机械惯性传感器测量的卫星电视接收天线稳定系统的组成、工作原理及技术要求,讨论了系统的几项关切技术,包括:微机械惯性姿态测量模块,步进电动机闭环伺服控制以及场强自动跟踪技术。计算仿真和样机实验的结果表明:系统达到了预期的技术指标,已能够满足舰船上的应用要求。由于微机械测量器件的采用,系统具有体积小、成本低、性能可靠的优点。 相似文献
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红麻纤维改性及其对Ni2+、Cu2+、Cd2+的吸附性研究 总被引:2,自引:0,他引:2
向天然纤维链上吸附性功能基制得的改性纤维不仅对金属离子的吸附容量,而且能应用于废水处理和环境保护等诸多领域。如果将大量废弃残麻接枝改性为对应吸附材料,并用于治理废水污染,则更具“双废开发,双废利用”价值。我们以信阳盛产的红麻纤维为母体,选取4-(2-吡啶偶氮)间苯二酚为功能基,在相关工作基础上,制备了4-(2-吡啶偶氮)间苯二酚基红麻纤维。同时,测试红麻纤维对Ni^2 、Cu^2 、Cd^2 的吸附性能,探讨了吸附温度、时间及介质酸度等因素对吸附的影响。 相似文献
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在最近一期的南通市课改现场会上,笔者有机会开设了"二次函数的图像和性质"展示课,在经历反复试教"同课复构"的过程中收获颇多.所谓"同课复构",就是同一个教师对所教同一个内容进行多次教学设计,后一轮教学设计是对前一轮设计在实施中发现问题的自我否定,是在前一轮基础上的再改进、再完善,这是一个螺旋上升的过程,教师的每一次自我否定,每一次重新调整,都是对自身教学设计水平的再提升.美国心理学家波斯纳曾提出了一个教师成长公式:成长=经验+反思.因此,笔者回顾三次改课、磨课的历程,梳理成文与大家分享. 相似文献
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