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611.
612.
针对多角度椭偏测量透明基片上薄膜厚度和光学参数时基片背面非相干反射光的影响问题,报道了利用椭偏透射谱测量等离子增强化学气相沉积法(PECVD)制备的a-Si:H薄膜厚度和光学参数的方法,分析了基片温度Ts和辉光放电前气体温度Tg的影响.研究表明,用椭偏透射法测量的a-Si:H薄膜厚度值与扫描电镜(SEM)测得的值相当,推导得到的光学参数与其他研究者得到的结果一致.该方法可用于生长在透明基片上的其他非晶或多晶薄膜.
关键词:
椭偏测量
透射法
光学参数
氢化非晶硅薄膜 相似文献
613.
Based on the assumption that Ds1(2536) and Ds2(2573) belong to T doublet (1+,2+), we calculate the semileptonic decays of Bs to Ds1(2536) and Ds2(2573) in terms of the Constituent Quark Meson (CQM) model. For Bs→Ds1(2536)+lν and Bs→Ds2(2573)+lν, the order of magnitude of the obtained branching ratios is 10-3. Our numerical results of the semileptonic decays of Bs to Ds1(2536) and Ds2(2573) are large, which implies that two semileptonic decays should be seen 相似文献
614.
采用氧等离子体氧化刻蚀工艺,制备出尖锐的六硼化镧(LaBLaB6)微尖锥场发射阵列。在二极管结构中测试了LaB6-FEAs的场发射性能,得到了真空度为5×10-5 Pa 下的I-V曲线及相应的Fowler-Nordheim节点。结果表明,由于LaBLaB6材料较低的逸出功,使得阴极的开启电压较小,开启场仅为7 V/μm。此外,将氧等离子体氧化刻蚀方法与氩氧等离子体刻蚀方法和电化学刻蚀方法进行了比较,表明氧等离子体氧化刻蚀方法是制备LaB6场发射阴极阵列的一种理想工艺。 相似文献
615.
采用PECVD工艺制备了非晶,微晶和多形硅薄膜,研究了电极间热梯度对氢化硅薄膜结构的影响.根据拉曼光谱得到了微晶硅的晶化率,并在椭偏仪中用BEMA模型验证了其准确性.根据理论模型研究了热梯度对微晶和多形硅薄膜沉积机理的影响.研究薄膜厚度对晶化率的影响表明微晶薄膜底端和表面之间存在晶化梯度,而多形硅薄膜中无晶化梯度存在.采用Tauc-Lorentz模型拟合得到薄膜的结构参数表明非晶硅薄膜的致密度和有序度低,而多形硅和微晶硅薄膜的有序度、致密度相近,且明显高于非晶硅.
关键词:
氢化硅
晶化
热梯度
结构 相似文献
616.
单晶LaB6场发射阵列的电化学腐蚀工艺 总被引:2,自引:0,他引:2
六硼化镧(LaB6)场发射尖锥阵列的刻蚀工艺是制备LaB6场发射阵列阴极的关键。在(111)面单晶LaB6基片上,用等离子体增强化学气相沉积法制备氮化硅层做掩膜,光刻后采用电化学腐蚀方法对基片进行刻蚀,得到具有一定高度的LaB6尖锥场发射阵列。讨论了单晶LaB6的电化学腐蚀机理。改变各种电化学腐蚀参数,包括电解液成分、电解液浓度、阳极所加电压,用电子扫描显微镜观察样品形貌。结果发现H3PO4是刻蚀单晶LaB6的理想电解液,它克服了过去电化学实验中经常遇到的尖锥各向异性问题。随着电解液浓度或阳极电压的增大,尖锥高度增加,但是基底表面变得更为粗糙。另一方面,阳极电压太小时,有横向刻蚀现象产生,不利于提高发射体的场增强因子。此外,在二极管结构中初步测试了LaB6尖锥场发射阵列的电流发射特性,在真空度2×10-4 Pa、极间距离0.1 mm、阳极电压900 V下,发射电流达到13 mA。 相似文献
617.
采用修饰Langmuir-Blodget(LB)膜法以二十烷酸(AA) LB膜为模板, 通过3,4-乙烯二氧噻吩(EDOT)单体在LB膜亲水基团间聚合, 制备了AA/PEDOT复合LB膜. 实验分析表明薄膜具有较好的层状有序结构, 并进一步研究发现EDOT在AA多层膜中的聚合破坏了原有LB膜的有序性, 这与聚合过程对层状结构产生的破坏作用有关; 研究了薄膜导电性能, 发现AA/PEDOT多层膜的电导率随处理时间的变化产生突变, 这与多层膜中导电通道的“渝渗”有关, 在有效导电网络连通后电导率发生了突变. 测试结果还表明AA/PEDOT膜导电性明显优于PEDOT旋涂膜和十八胺-硬脂酸/聚(3,4)乙烯二氧噻吩-聚苯乙烯磺(ODA-SA/PEDOT-PSS)复合膜. 相似文献
618.
A new model analysis of the third harmonic voltage in inductive measurement for critical current density of superconducting films
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The critical current density J c is one of the most important parameters of high temperature superconducting films in superconducting applications,such as superconducting filter and superconducting Josephson devices.This paper presents a new model to describe inhomogeneous current distribution throughout the thickness of superconducting films applying magnetic field by solving the differential equation derived from Maxwell equation and the second London equation.Using this model,it accurately calculates the inductive third-harmonic voltage when the film applying magnetic field with the inductive measurement for J c.The theoretic curve is consistent with the experimental results about measuring superconducting film,especially when the third-harmonic voltage just exceeds zero.The J c value of superconducting films determined by the inductive method is also compared with results measured by four-probe transport method.The agreements between inductive method and transport method are very good. 相似文献
619.
A vacuum ultraviolet VUV spectrometer with spatial and temporal resolutions was presented in this paper. The sensitivity of the spectrometer has been calibrated in situ by using the VUV bremsstrahlung continuum radiation of the HL-2A plasma. The sensitivity coefficients of two gratings were given. The absolute density profile of carbon radiation was thus obtained based on the absolutely radial profile measurement of carbon radiation. 相似文献
620.
基于多时相航空高光谱遥感影像的冬小麦长势空间变异研究 总被引:2,自引:0,他引:2
精准农业技术是基于农田信息在空间和时间上存在的差异而实施的变量管理技术,本研究以2001年~2002年度在国家精准农业研究示范基地开展的冬小麦变量施肥对比试验为基础,获取冬小麦拔节期、灌浆初期及乳熟期的推扫式成像光谱仪(pushbroom hyperspectral imager, PHI)航空高光谱影像数据,提取反映冬小麦长势光谱参数,进行变量施肥处理区与常规处理区冬小麦长势空间变异的对比。研究发现,变量区与对照区光谱反射率分散度最大的区域主要集中在红边及近红外反射平台的附近, 其中,乳熟期冬小麦光谱分散度最大,其次为拔节期和灌浆期。通过对比不同时相冬小麦长势信息,发现拔节期变量区作物长势空间变异程度要高于对照区,经过变量施肥处理后,灌浆期和乳熟期变量施肥区冬小麦长势空间变异程度低于对照区;对冬小麦产量的分析发现,变量区产量的总体空间变异小于对照区,但变量区总体产量略低于对照区。研究表明,利用遥感影像数据,可以及时获取作物长势的空间变异情况,为农业管理的生产、决策及时提供信息。 相似文献