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Effects of high-dose Ge ion implantation and post-implantation annealing on ZnO thin films 下载免费PDF全文
This paper reports that ion implantation to a dose of 1×1017
ions/cm2 was performed on c-axis-orientated ZnO thin films deposited on
(0001) sapphire substrates by the sol-gel technique. After ion implantation,
the as-implanted ZnO films were annealed in argon ambient at different
temperatures from 600-900℃. The effects of ion implantation
and post-implantation annealing on the structural and optical properties of
the ZnO films were investigated by x-ray diffraction (XRD),
photoluminescence (PL). It was found that the intensities of (002) peak and
near band edge (NBE) exitonic ultraviolet emission increased with increasing
annealing temperature from 600-900℃. The defect related deep
level emission (DLE) firstly increased with increasing annealing temperature
from 600- 750℃, and then decreased quickly with increasing
annealing temperature. The recovery of the intensities of NBE and DLE occurs
at \sim 850℃ and \sim 750℃ respectively. The relative
PL intensity ratio of NBE to DLE showed that the quality of ZnO films
increased continuously with increasing annealing temperature from 600 -
900℃. 相似文献
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采用溶胶凝胶法在(0001)Al2O3衬底上制备了不同掺杂原子分数的ZnO:Al薄膜,在Ar气氛中进行了600~950 ℃不同温度的退火处理,研究了掺杂原子分数和退火温度对薄膜光致发光、光吸收和透射的影响。结果显示,薄膜的紫外峰强度随掺杂原子分数和退火温度的提高而增强,与缺陷相关的绿光强度却随着掺杂原子分数和退火温度的提高而降低;薄膜光学带隙随掺杂原子分数的提高从3.21 eV增大到3.25 eV;光吸收在可见光区随着退火温度的升高而增大,在紫外区却随着退火温度的升高而减小,透射与吸收的变化规律相反;薄膜吸收边随退火温度的升高出现轻微的红移。 相似文献
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采用射频磁控溅射方法在蓝宝石单晶衬底上沉积氧化镓(Ga2O3)薄膜,并通过光刻剥离工艺(Lift-off)制备了金属-半导体-金属结构的Ga2O3日盲紫外探测器。对不同温度下沉积的Ga2O3薄膜分析表明,在800℃下获得的薄膜结晶质量最好,薄膜的导电性则随着沉积温度的上升先增大后减小。在800℃制备的β-Ga2O3薄膜的可见光透光率大于90%,光学吸收边在255 nm附近。在10 V偏压下,探测器的暗电流约为1n A,光电流达800 n A,对紫外光响应迅速。器件的响应度达到0.3 A/W,260 nm波长处的响应度是290 nm波长对应响应度的40倍,可实现日盲紫外波段的探测。 相似文献
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炸药条加载圆柱壳的数值模拟(Ⅱ):解耦分析与实验验证 总被引:1,自引:0,他引:1
根据已报道的二维流固耦合数值模拟结果,建立了经缓冲橡胶整形后的单炸药条载荷模型。将炸药条载荷叠加后直接施加在圆柱壳表面,进行二维解耦模拟,得到了与流固耦合模拟基本吻合的应力结果。在此基础上,对19条炸药条加载Φ265 mm×380 mm圆柱壳进行了三维解耦模拟,并采用相同状态的实验予以验证。结果表明,特征点应变响应吻合较好,验证了炸药条加载圆柱壳解耦数值模拟的有效性,为大量工况数值分析、提高建模和计算效率奠定了基础。 相似文献
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为解决野外古墓葬安防网络中高采样率会缩短无线传感器网络寿命的问题, 提出了使用功率谱二次处理对地震信号进行特征提取的方法. 并通过三类地面活动数据采集进行对比识别实验, 分析了低采样率条件下地震信号特征提取方法的性能. 结果表明, 使用功率谱二次分析的特征提取方法能够降低网络通信能耗, 延长网络寿命, 提高系统目标识别的准确性.该方法已应用于秦始皇兵马俑野外文物安防系统, 经实践检验, 收到了良好的效果.
关键词:
地震信号
特征提取
功率谱二次处理
无线传感器网络 相似文献
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ZnO肖特基势垒紫外探测器 总被引:8,自引:1,他引:7
以p-Si(111)为衬底,用水热法首次制得六棱微管ZnO。并以此为有源区利用平面磁控溅射技术沉积得到Ag叉指状电报,从而制作了Ag/n-ZnO肖特基势垒结紫外探测器。对该紫外光探测器的暗电流和365nm波长光照下的光电流、光响应和量子效率进行了测试。测试结果表明:Ag和ZnO六棱管间已形成肖特基接触.其有效势垒高度为0.35eV。无光照时,暗电流很小,当用λ=365nm的光照射Ag/n-ZnO肖特基结时.在5.9V偏压时,光生电流分别为25.6,57.9μA。Ag/n-ZnO紫外探测器有明显的光响应特性和较高的量子效率,在366nm波长处,光响应度达到最大值0.161A/W,量子效率为54.7%。 相似文献
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1.广义极坐标为了确定平面上点的位置,通常采用直角(即笛卡儿)坐标釆。在这里,我們研究确定平面上点的位置的另一种方法。在平面上取某一点O(图1),称它为极点;从这点引出任一射线OP,称它为极軸。 現在我們想确定某一点M的位置。显然,平面上任一点(除极点之外)都在通过极点的某唯一射线上,点M就在射綫OM上。这条射綫的位置可以用它与极軸的夹角来确定。这个角叫做极角。我們规定,由极轴沿逆时針方向計 相似文献