沉积温度对等离子体化学气相沉积制备硅氧薄膜微结构的影响

利用13.56 MHz的射频等离子体化学气相沉积设备(RF-PECVD)在不同沉积温度(50~400 ℃)下制备了一系列氢化硅氧(SiO_x:H)薄膜材料,并研究了薄膜材料性能与微结构的变化规律。随着沉积温度的增加,薄膜内的氧含量(C_O)下降,晶化率(X_C)也下降,折射率(n)上升,此外,薄膜的结构因子(R)下降,氢含量(C_H)先上升后下降,由此在合适的中间温度下可以获得最大的氢含量。通过实验结果分析提出了不同沉积温度下制备硅氧薄膜的内在微结构模型:低温下沉积的硅氧薄膜是以氢化非晶硅氧(a-SiO_x:H)相为主体并嵌入氢化纳米晶硅(nc-Si:H)的复合材料,而在高温下沉积的硅氧薄膜则是以氢化非晶硅(a-Si:H)相为主体并嵌入越来越少的nc-Si:H相和a-SiO_x:H相的复合材料。由上可知,要制备太阳电池通常采用的晶化率X_C高、氧含量C_O高的氢化纳米晶硅氧(nc-SiO_x:H)材料,需要采用相对较低的沉积温度。     

液质联用技术分析西洋参花化学成分及H9c2心肌细胞损伤保护作用

高温高压转化前后西洋参花醇提液经正己烷、氯仿、乙酸乙酯和正丁醇分级萃取后共得10种不同极性组分，通过H9c2心肌细胞损伤模型筛选最佳活性组分，并对其进行抗氧化活性的测定以及化学组成分析，利用液质联用技术检测其处理前后的化学成分。结果表明，提取的10种活性组分中，高温高压转化后西洋参花乙酸乙酯萃取层(PEE)能够有效保护H9c2心肌细胞损伤，显著提高细胞存活率并降低细胞ROS水平，与高温高压转化处理前西洋参花乙酸乙酯层(OEE)相较，二者总体皂苷含量相近且均具有较强的抗氧化活性。通过液质分析，初步确定了PEE中所含高温高压转化裂解生成的Rk₁与Rg₅更具良好的心肌细胞损伤保护作用。