Deposition of Cu seed layer film by supercritical fluid deposition for advanced interconnects

The deposition of a Cu seed layer film is investigated by supercritical fluid deposition(SCFD) using H2 as a reducing agent for Bis(2,2,6,6-tetramethyl-3,5-heptanedionato) copper in supercritical CO2(scCO2).The effects of deposition temperature,precursor,and H2 concentration are investigated to optimize Cu deposition.Continuous metallic Cu films are deposited on Ru substrates at 190℃ when a 0.002 mol/L Cu precursor is introduced with 0.75 mol/L H2.A Cu precursor concentration higher than 0.002 mol/L is found to have negative effects on the surface qualities of Cu films.For a H2 concentration above 0.56 mol/L,the root-mean-square(RMS) roughness of a Cu film decreases as the H2 concentration increases.Finally,a 20-nm thick Cu film with a smooth surface,which is required as a seed layer in advanced interconnects,is successfully deposited at a high H2 concentration(0.75 mol/L).     

二[氧合-二(4-二茂铁基苯甲酸二烷基锡(Ⅳ))]配合物的合成、谱学表征和晶体结构研究

合成了{[(n-Bu)2Sn(4-Fc-C6H4COO)]2O}2 (1)和{[(n-Oct)2Sn(4-Fc-C6H4COO)]2O}2(2)(Fc=ferrocenyl)两种新的配合物, 对其进行了元素分析, 并用IR, NMR(1H, 13C, 119Sn)进行了谱学表征. 单晶X射线衍射法测定表明, 配合物1的晶体属单斜晶系, P21/c空间群, 晶胞参数a=1.298 8(1) nm, b=2.465 5(1) nm, c=3.450 6(1) nm, β=91.556(2)°, V=11.045 4(1) nm3, Z=4, 最终可靠因子Rf=0.071, Rw=0.070. 分子1为具有一个Sn2O2四元中心内环的二聚结构, 桥氧原子又各连接一个外环Sn原子, 呈三配位. 内环锡和外环锡采用略有不同的加帽三角双锥配位几何. 4个羧酸酯基具有两种不同的配位方式, 其中两个羧酸酯基通过其两个氧原子以桥式双齿分别跨接于一个内环锡和一个外环锡, 而另外两个羧酸酯基则以单齿配位方式各与一个外环锡相连接. Sn2O2中心内环与苯甲酸酯基、茂环等共轭体系之间相互未能共平面. 整个分子结构中无对称中心.     

连续铸钢问题的有限元解法及参数优化

本文介绍连续铸钢二冷区钢坯温度分布的计算以及喷水量的优化，钢铁工艺对二冷区钢坯温度有一定要求，将其量化为求代价泛函最小问题，对状态方程用有限元模拟遗传算法求问题的最小解，确定最佳喷水方案。     

基于超广角成像的粗糙面反射光场测量方法

针对目前“扫描式”反射光场测量系统依赖复杂机械装置、测量效率低以及“照相式”反射光场测量系统测量角度范围小等问题,提出一种基于超广角成像的粗糙面反射光场测量方法。分析了粗糙面反射光场测量原理,优化设计了折反射超广角成像光学系统,实现了天顶角范围0～54°的周视反射光场测量;校准了反射光场测量系统的空间关系与光场强度,校准后反射光场测量最大相对误差为4.12%,周视反射光场测量平均相对误差最大为2.06%;通过模拟Labsphere Permaflect-80漫反射板、WhiteOptics-DF60漫反射板和美国ACA镜面铝板3种粗糙面的反射光场测量结果,证明了所提表面反射光场测量方法的可行性,丰富了粗糙表面反射光场的测量手段,为对材料表面光学反射特性与损伤等的测量、模拟与重构提供了研究基础与技术支撑。     

钛空腔靶高强度keV X射线源的实验研究

利用神光-Ⅲ原型激光装置实验研究了8束ns激光脉冲从一端注入钛空腔靶产生的keV X射线源的辐射特征,发现keV X射线主要产生于腔轴附近;钛空腔靶内径过大时keV X射线能流的峰值强度较低,内径过小时keV X射线能流的持续时间较短。为了在4π空间内使钛空腔靶获得最大的X射线(4~7keV能段)转换效率,腔内径的最优值在1000~1300μm附近,此时的keV X射线转换效率为4.7%,是相同激光参数下钛平面靶的2倍左右。激光单端注入有底部钛膜和无底部钛膜的空腔靶对比实验显示,底膜能够增强keV X射线的发射。     

聚芳醚酮的合成及其性能

本文研完了以1,2-二氯乙烷为溶剂,三氯化铝为催化剂,在一般条件下从二苯醚和间苯二甲酰氯合成高分子量聚芳醚酮(简称PEK)的方法;寻找出硝基苯脱催化剂提纯聚合物的有效途径;红外光谱表明醚的芳环上邻位和对位都参与了反应;测试了PEK的主要物理、化学性能。     

两种一维链铜配合物的合成与晶体结构

本文分别用N，N′-二(2-吡啶基)-2，6-吡啶二酰胺(H₂L)和2-吡啶酸得到了2种具有一维链结构的铜配合物。通过X-射线单晶衍射，测定了晶体的结构。配合物1，{Cu₃L₂(C₄H₄O₄)·10H₂O}_n,属于三斜晶系，空间群是P1，晶胞参数如下：a=0.706(1) nm，b=1.113(8) nm，c=1.288(7) nm，α=110.810(5)°，β=90.422(6)°，γ=101.183(6)°，V=0.926 2(2) nm³，Z=1。配合物2，{Cu(pic)₂·2H₂O}_n，也属于三斜晶系，空间群是P1，晶胞参数如下：a=0.513(6) nm，b=0.765(0) nm，c=0.924(6) nm，α=74.839(4)°，β=84.386(5)°，γ=71.401(5)°，V=0.332 3(0) nm³，Z=1。通过分子中未配位的水分子的氢键作用，配合物1构成了1个三维结构；而配合物2通过弱配位键作用形成了一维的链状结构。CCDC：603470，1；608265，2。     

改进的QuEChERS结合超高效液相色谱-串联质谱法快速测定地表水中双酚类物质

建立了同时测定地表水中8种双酚类物质(BPs)的超高效液相色谱-串联质谱(UPLC-MS/MS)分析方法.方法 基于QuEChERS处理技术,选用乙酸乙酯为提取剂,从基质效应(ME)和萃取回收率(RE)两方面对过程效率(PE)进行优化,确定了50 mg N-丙基乙二胺(PSA)和50 mg石墨化炭黑(GCB)混合吸附剂...     

CoB/C催化硼氢化钠水解制氢的性能

使用浸渍负载-还原法及化学镀法制备了活性炭负载的CoB催化剂,研究了这些催化剂催化硼氢化钠水解制氢反应的性能。在温度为20℃,反应液为1%NaBH4+5%NaOH的条件下,浸渍负载-还原法制备的CoB/C催化剂的产氢活性为2 022mL.min-1.g-1(Co),而化学镀法制备的CoB/C催化剂的产氢活性可达2 503 mL.min-1.g-1(Co),相同条件下非负载的CoB催化剂的产氢活性仅为1 351 mL.min-1.g-1(Co)。化学镀法制备的CoB/C催化剂重复使用5次后其活性仍能保持初始活性的70%,而浸渍负载的CoB/C催化剂及非负载的CoB催化剂的活性分别降至初始活性的30%和10%,化学镀法制备的CoB/C催化剂显示出更好的催化性能。此外该催化剂在空气中放置30 d后催化活性没有明显下降,这为其存储和使用带来了便利。进一步的物理化学表征表明,非负载的CoB极易团聚,形成的二次粒子粒径在400~800 nm,而活性炭负载的CoB催化剂团聚现象则大大减弱,CoB的分散性明显好于非负载催化剂。载体的存在可进一步阻止CoB活性组分在催化反应过程中发生团聚而避免活性下降。化学镀法制备的催化剂中,载体与CoB之间有更强的相互作用而使得后者结合紧密,分散良好,不易流失,催化剂整体上具有更好的稳定性。     

公式W=Flcosθ的六种内在特性

做功是能量转化的过程,功是能量转化的量度,所以,功在机械能的教学中十分重要.从能量转化的角度看,如果在力的作用下物体的能量发生了变化,那么这个力一定对物体做了功;从运动的角度看,一个物体受到力的作用并在力的方向上发生了一段位移,则这个力一定对物体做了功.