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采用磁控三靶(Si,Sb及Te)共溅射法制备了Si掺杂Sb2Te3薄膜,作为对比,制备了Ge2Sb2Te5和Sb2Te3薄膜,并且采用微加工工艺制备了单元尺寸为10μm×10μm的存储器件原型来研究器件性能.研究表明,Si掺杂提高了Sb2Te3薄膜的晶化温度以及薄膜的晶态和非晶态电阻率,使得其非晶态与晶态电阻率之比达到106,提高了器件的电阻开/关比;同Ge2Sb2Te5薄膜相比,16at% Si掺杂Sb2Te3薄膜具有较低的熔点和更高的晶态电阻率,这有利于降低器件的RESET电流.研究还表明,采用16at% Si掺杂Sb2Te3薄膜作为存储介质的存储器器件原型具有记忆开关特性,可以在脉高3V、脉宽500ns的电脉冲下实现SET操作,在脉高4V、脉宽20ns的电脉冲下实现RESET操作,并能实现反复写/擦,而采用Ge2Sb2Te5薄膜的相同结构的器件不能实现RESET操作.
关键词:
相变存储器
硫系化合物
2Te3薄膜')" href="#">Si掺杂Sb2Te3薄膜
SET/RESET转变 相似文献
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A High Revolution Speed Noncontact Ultrasonic Motor Driven by a Non-Symmetrical Electrode 总被引:1,自引:0,他引:1
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A noncontact ultrasonic motor based on a non-symmetrical electrode is proposed. This motor has the advantages of using a simple driving electrode and having a high revolution speed. The revolution speed of its three-blade rotor can reach 5100rpm under a driving voltage of 20 V. A method operated easily is proposed to measure the output torque, 相似文献
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为更加准确地描述机械磨削表面的接触刚度,本文在现有统计分析理论的基础上,提出了一种新的粗糙表面接触模型。模型针对接触表面微凸体形貌,将原有的球体假设采用cos函数曲线回转体代替,在假设形貌的基础上重新解算了微凸体弹塑性变形的临界压入深度,推导出了接触区域真实接触压力与接触刚度关系表达式。通过数值仿真方法得到了不同塑性指数下平均距离、接触刚度与接触压力之间的变化关系。对比结果显示,随着塑性指数的增大,本文模型的平均距离与球形模型的平均距离之间的差值逐渐增大。在接触刚度方面,本文模型相比球形模型更加贴近实验结果,并且随着塑性指数的增加,球形模型与本文模型之间的差值越来越大。本文模型结果与实验数据的相对偏差能够控制在5%以内,从而验证了本文模型的正确性,为更加准确地描述磨削表面零件的接触行为提供理论基础。 相似文献
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将4种黄酮类药物染料木素、木犀草素、大豆素及柚皮素与氯金酸在不同酸度条件下反应形成金纳米颗粒. 研究发现, 生成的金纳米颗粒的等离子体共振吸收信号与4种黄酮类药物的浓度呈线性关系, 从而建立了这4种典型黄酮类药物的测定方法. 分析了黄酮类药物的分子结构并利用Materials-studio 4.0软件计算了各原子的电子云密度分布. 结果表明, 4种黄酮类药物与氯金酸作用的适宜酸度与黄酮类化合物结构中的酚羟基数和碱性氧的电子云密度分布有关. 相似文献
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刘跃 《高校应用数学学报(A辑)》1989,(1)
本文讨论了一类非线性Shrdinger方程的柯西问题:(1.1)其中k,v是常数,v>0,u(t,x)是复值未知函数。我们研究了在初值u_0∈L~2(R~n)较弱的条件以及不限制空间维数n的情况下,上述柯西问题整体解的存在唯一性,从而推广了文[1]、[2]的结果。 相似文献
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有大量文献[1-3]对有机化学反应中的反式加成、邻基参与下的反式消去反应所涉及的三元环过程(我们称之为单桥反应机理)进行了研究·负离子以相等的几率进攻成桥的二个碳原子中的任意一个,因而对大量反应的立体选择性给出了很好的解释.但是有些反应却不能用这一机理解释.FinarN]指出其原因还不清楚,并推测这是由于桥键可以断裂而形成开环经典离子,使原来的桥原子所跨碳碳单键旋转.这儿相当于给出了两种并存的机理.HoPkhson等人*以乙烯和氟或氯加成为模型,对单桥机理进行了量子化学从头算研究·得到这两个反应的活化能分别大于5… 相似文献
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用滤筒采集固定污染源废气样品,将滤筒剪碎,置于微波消解管中,加入体积比3∶1的盐酸-硝酸混合液5.0 mL和水20.0 mL,于200℃消解15 min.在所得消解液中加入水10 mL,静置0.5 h进行浸提,过滤,用水定容至50 mL.所得样品溶液采用石墨炉原子吸收光谱法测定其中铜、镍、镉的含量.铜、镍、镉3种元素优化的测定条件如下:灰化温度依次为1100,1200,500℃,灰化时间均为20 s,原子化温度依次为2000,2400,1500℃,原子化时间依次为5,5,4 s.结果表明:铜、镍、镉的质量浓度在一定范围内与其对应的吸光度值呈线性关系,检出限(3.143s)依次为2,3,0.06μg·L^(-1).用此法测定煤飞灰中重金属成分分析标准物质(总量)(RMU010),测定值与认定值基本一致.平行测定某实际煤飞灰样品6次,测定值的相对标准偏差为2.6%~7.0%.采集某固定污染源废气样品7个,按本方法测定,测定值的相对标准偏差小于20%,说明采集方法具有一定稳定性. 相似文献
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