光刻技术:发展路径及未来趋势

光刻技术在半导体器件大规模生产中发挥重要作用.今天,多数先进半导体生产都已经应用ArF准分子激光浸润光刻技术.双重图像曝光和侧壁图像转移技术使ArF准分子激光浸润光刻技术延伸到32纳米半节距(HP)器件的制造成为可能.为了制造更小尺寸的器件,必须开发新的制造工艺.极端紫外线光刻是制造22纳米半节距甚至更小尺寸半导体器件的先进下一代光刻技术解决方案.另外,其他技术解决方案,如纳米压印光刻技术和无掩模直描光刻技术等也被考虑用于制造更小节点尺寸的器件,但是目前这些方案仅仅处在研发阶段,而且在现阶段就已经呈现出在大规模生产中的诸多困难.本文从材料的角度对光刻技术进行一个整体描述,并对光刻技术未来趋势进行讨论.     

四川泸定县泥石流灾害成因、特征与防治建议

泸定县地处川西高原与四川盆地的过渡地带,地质环境条件复杂,分布泥石流沟127条,发育密度054条·10km-2。在遥感解译和地面调查基础上,论述了泸定县泥石流灾害成因、发生特征、危害和发展趋势,提出了相关防治建议。(1)成因表现为复杂的断裂构造导致流域内松散物源丰富,较大的相对高差提供了良好势能条件,而汛期集中强降雨则提供了动能条件,且雨量条件中当日雨量与前期有效降雨量之间具有幂函数关系; (2)发生特征表现出典型的空间群发性(包括2005-06-30群发性泥石流、2005-08-11群发性泥石流和2006-07-14群发性泥石流)与时间的夜发性; (3)危害方式主要包括淤埋、冲毁、侵蚀、堵河4种,泥石流已造成74人死亡; (4)发展趋势表现为泥石流沟多处于形成期和发展期(113条,占89%),发生的年际准周期由20a缩短至不足10a,且发生条(次)由4条(次)增加至44条次(2005年); (5)泸定县泥石流防治的突出问题表现为城镇泥石流问题、泥石流堵塞主河问题、风景区泥石流问题与冲沟泥石流问题,建议通过科学规划、风险防御体系构建、土木工程治理、监测预警等措施予以防御。     

实验研究射频辉光放电改善苎麻织物毛细效应的时效性

介绍射频辉光放电等离子体改善苎麻织物毛细效应的时效性的实验。分别在充入氩气、氮气、氧气的真空室中对苎麻织物进行射频辉光放电等离子体处理,在每一种处理过程中分别改变其处理时间、放电功率和真空室压强。测试了放置不同时间的经不同等离子体参数处理后的苎麻织物的毛细效应,得出各种参数的等离子体处理对苎麻织物毛细效应时效性的影响。实验结果表明,苎麻织物被等离子体离子体处理后毛细效应得到明显改善,其毛细效应随放置时间的变化为先快速下降,然后变缓,逐渐趋于稳定,这种毛细效应的改善具有良好的时效性,其中100W、40Pa的氧等离子体处理20分钟后的苎麻织物的毛细效应时效性最好。     

《化学进展》近期要目预告

低温甲醇液相合成催化剂及工艺的研究(储伟　吴玉塘　罗仕忠　包信和　林励吾) 　　沸石类分子筛合成研究新进展(袁忠勇　周午纵　李赫FDA6) 　　新一代高活性烯烃均相聚合催化剂——多氮螯合配位后区过渡金属络合物　　(王梅　钱明星　虞晓敏　何仁) 　　超临界流体技术研究进展(肖建平　范崇政) 　　水分子簇的研究进展(王林双　王榕树) 　　钴基催化剂在Fischer\|Tropsch合成烃中的研究进展(银董红　钟炳　彭少逸) 　　光声位相理论及其在化学中的应用研究进展(伍荣护　苏庆德) 　　茂金属/硼化合物烯烃聚合催化体系研究进展(张普玉　王立　封麟先) 　　内分泌干扰剂的研究进展(任晋　蒋可) 　　21世纪的分析化学——回顾与前瞻(黄本立) 　　结构敏感材料的基础研究(郭国聪　姚元根　吴克琛　吴棱　黄锦顺)     

X射线Kirkpatrick-Baez显微镜用超反射镜的研制

 介绍了一种可应用于X射线Kirkpatrick-Baez（KB）显微镜的光学元件—X射线超反射镜。选用的W和B₄C作为镀膜材料，膜对数为20，采用单纯型调优的方法实现了X射线超反射镜设计，用磁控溅射的方法在Si基片上完成了W/B₄C X射线超反射镜的制备。采用高分辨率X射线衍射仪（8 keV）测量了X射线超反射镜的反射特性。制备的X射线超反射镜在掠入射角分别为1.052°和1.143°处，反射角度带宽为0.3°，反射率达到20%，可满足KB型显微镜的要求。     

一类解三角形问题的另一解法

已知三角形的两边和其中一边对角,求该三角形的其它边和角的问题,一般借助正弦定理解决.在求解过程中,对解的个数的判断问题是学生的一个难点.对此,文[1],文[2]中给予了详尽的归纳、指导.但依条件的不同,分类较多,判断准则各异,同学们掌握起来难免仍有较大困难.笔者意欲再介绍一种方法,只需借助余弦定理及同学们十分熟悉的二次方程知识即可轻松作出判断.下面借用文[1],[2]的部分例题予以说明.     

单能电子在聚酯薄膜(PET)中射程的测量

聚酯薄膜(PET)作为由C，H，O三种元素组成的有机物，与生物组织的组成较为相似，测量单能电子在PET中的射程在放射性防护方面有一定的价值，本文在RES系列相对论效应实验谱仪平台上测量了单能电子在PET中的射程，给出了相应的实验方法和数据处理方法，实现了在普通实验室进行单能电子射程的测量。     

氧屏蔽空气-乙炔火焰原子吸收测定钒

目前国内外几乎都采用氧化亚氮-乙炔火焰测定钒,有人曾做了钒在氧屏蔽空气-乙炔火焰中行为的试验,但实际应用的报导不多。本文根据此火焰有较高的温度及较强的还原性,可以测定易生成耐热氧化物金属元素的特点。采用添加抑制剂和增感剂有效地防止共存元素的干扰,同时以提高钒的测定灵敏度。本法可应用于0.01～4.0％钒的测定。方法相对标准偏差小于1％。     

取代苯酚的脱叔丁基反应

本文对一些取代邻叔丁基苯酚进行脱叔丁基反应作了研究。这一结果可以用脱叔丁基反应和Freidel-crafts反应予以解释。     

油脂与醣类作化学上加工制造的学校实验(四)——人造丝制造

无论从废物利用的观点或从技术上成就的观点来看,铜氨人造丝的制造是学校中最可行的演示实验。铜氨法说明所有人造丝制造(不是合成的)的基本原理——纤维素溶解於适当溶剂而后从溶液中分出人造丝——最简单。铜氨人造丝制造法是基于纤维素可溶于氩氧化铜的氨溶液中的性质。人造丝制造实验可分为下列各步骤:1)铜氨液的配制;2)纺丝液的制备(纤维素溶液,例如棉花溶于铜氨溶液);3)自溶液中纺出丝;4)丝的洗清与干燥。这些程序除了二点之外基本上反映了生产操作程序。第一点人造丝工厂用木材分离出