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本文报道—台自制的光学投影亚微米量级微细加工用的KrF准分子激光振荡-放大系统,并对其设计和运转性能加以讨论.该系统在200Hz重复率运转时其谱线漂移小于5×10~(-4)nm,谱线宽度为2.3×10~(-8)nm,平均功率达24.4W. 相似文献
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《光学学报》自一九八一年创刊以来已步入第十个年头,至今年第七期,已出刊满一百期.这一百期《光学学报》,积极地反映了我国光学领域中科研发展的最新成就,促进了学术交流,受到国内外光学界的欢迎和好评.在此,首先让我代表第三届编委暨编辑部,向《光学学报》创办人之一、并亲任第一届副主编和第二届主编的王之江教授和第二届副主编章志鸣教授,以及 相似文献
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一维纯位相线成象衍射光学元件的计算 总被引:1,自引:1,他引:0
报道以一维平面阶梯条形纯位相结构,用等光程补偿的物理概念出发,计算了单线与双线象的衍射光学元件的多种构形,获得了与理想衍射线象符合的光强分布;同时发现双线象时会出现噪音光强小峰,这在精确成象时仍是要设法避免的. 相似文献
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