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采用等离子体增强化学气相沉积法,以SiH4、NH3和N2为反应气源,通过改变射频功率制备富硅-氮化硅薄膜材料.利用傅里叶变换红外吸收光谱,紫外-可见光透射光谱,扫描电镜等对薄膜材料结构与性质进行表征.实验表明,随着射频功率的逐渐增加,薄膜光学带隙缓慢减小、有序度增加,薄膜材料中的Si-H键、N-H键缓慢减小,Si-N键增多.分析结果发现,适量的增加射频功率有利于提高样品反应速率,使薄膜有序度增加,致密性增强,提高薄膜质量,但过高的射频功率会使薄膜质量变差. 相似文献
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设计建立一种用于AGV自动导引车镍氢动力蓄电池的快速充电系统,该系统在充电过程中能实时监测蓄电池组的各个运行参数,完成数据运算并逻辑判断、控制充电过程至其结束,并利用去极化放电脉冲提高充电效率. 相似文献
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SHR22000是日本滨松光子学株式会社开发的人体全身用正电子发射断层扫描仪. 扫描仪具有32层探测器环, 二维采集可形成63个切片, 病人孔径为60cm, 单个体位数据采集时间为3—5min.扫描仪的轴向视野为22.5cm, 经5个体位可以完成全身扫描, 视野中轴10mm处平均横向分辨率可达到3.2mm. 本文依照国际标准IEC 61675-1(亦即GB/T18988.1-2003)规定的各项指标对该扫描仪的空间分辨率、灵敏度、散射和计数率特性以及复原系数进行了测试, 并给出结果数据. 相似文献
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天津大学基础课部磁性材料研究组 《物理》1978,(3)
引 言 锰锌铁氧体单晶是一种尖晶石结构的人工合成晶体.它具有良好的高频性能和耐磨损特性,是制作磁记录头的良好材料. 近年来,空间科学、电视科学、电子计算机等迅速发展,大量的信息处理是通过磁记录技术完成的,其中关键部件是磁头.特别是磁带录象机,工作在视频频段,并且在磁头和磁带相接触情况下,要以每秒十几米或几十米相对速度运动.因此,对磁头材料提出如下主要要求:(1)在使用频段有尽可能高的磁导率;(2)有良好的耐磨性能;(3)机械加工性能好.本文适应此种需要,设计制造出充氧气氛的锰锌铁氧体单晶炉.生长出满足上述性能要求的锰锌铁氧体… 相似文献
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GS240/35高速电影摄影机是一种间歇式高速电影摄影机,频率可达240幅/秒,使用35毫米胶片,画幅大小为22×18毫米。间歇运动的主要部件——抓片机构的结构和特性,直接影响摄影机的频率和画幅质量。 相似文献
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采用光谱在线技术(OES)检测了大气压 Ar/NH3 DBD 等离子体中的主要粒子为 NH,N,N+,N2, Ar,Hα,OH。NH 是 NH3分解的产物,激发态 Ar*和 NH3分子的潘宁碰撞生成激发态中性粒子 NH(c 1Π)和 NH(A 3Π)。674.5 nm 处 N 原子谱线表明等离子体中产生了 N 活性原子,为大气压 Ar/NH3同轴介质阻挡放电等离子体合成ε-Fe3 N 磁性颗粒提供了可能。研究了各主要粒子谱线强度随 NH3流量和外加电压峰峰值的变化规律,研究结果表明:NH3流量相同时,随外加电压峰峰值升高,各粒子谱线强度均逐渐增强;外加电压峰峰值相同时,各谱线强度随 NH3流量增加先增强后减弱。外加电压峰峰值相同时,随 NH3流量增加,N 活性原子谱线强度先增强后减弱,NH3流量为20 mL·min-1时,N 活性原子谱线强度最强。NH3流量相同时,随外加电压峰峰值升高,N 活性原子谱线强度逐渐减小,主要是由于大气压 Ar/NH3 DBD 放电模式由多脉冲大气压辉光放电转变为丝状放电造成。多脉冲大气压辉光放电的微放电通道之间相互重叠,各个微放电之间相互影响,导致随外加电压峰峰值升高各谱线强度的增加速率较快。当外加电压峰峰值从4600 V 升高到6400 V 时,大气压 Ar/NH3 DBD 的放电模式由单脉冲 APGD 转变为二脉冲 APGD,属于均匀大气压介质阻挡放电,随外加电压峰峰值升高谱线强度的增加速率较快,利于合成ε-Fe3 N 磁性颗粒。 相似文献
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采用光谱在线技术(OES)检测了大气压Ar/NH_3 DBD等离子体中的主要粒子为NH,N,N~+,N_2,Ar,H_α,OH。NH是NH_3分解的产物,激发态Ar~*和NH_3分子的潘宁碰撞生成激发态中性粒子NH(c~1Ⅱ)和NH(A~3Ⅱ)。674.5 nm处N原子谱线表明等离子体中产生了N活性原子,为大气压Ar/NH_3同轴介质阻挡放电等离子体合成ε-Fe_3N磁性颗粒提供了可能。研究了各主要粒子谱线强度随NH_3流量和外加电压峰峰值的变化规律,研究结果表明:NH_3流量相同时,随外加电压峰峰值升高,各粒子谱线强度均逐渐增强;外加电压峰峰值相同时,各谱线强度随NH_3流量增加先增强后减弱。外加电压峰峰值相同时,随NH_3流量增加,N活性原子谱线强度先增强后减弱,NH_3流量为20 mL·min~(-1)时,N活性原子谱线强度最强。NH_3流量相同时,随外加电压峰峰值升高,N活性原子谱线强度逐渐减小,主要是由于大气压Ar/NH_3DBD放电模式由多脉冲大气压辉光放电转变为丝状放电造成。多脉冲大气压辉光放电的微放电通道之间相互重叠,各个微放电之间相互影响,导致随外加电压峰峰值升高各谱线强度的增加速率较快。当外加电压峰峰值从4 600 V升高到6 400 V时,大气压Ar/NH_3 DBD的放电模式由单脉冲APGD转变为二脉冲APGD,属于均匀大气压介质阻挡放电,随外加电压峰峰值升高谱线强度的增加速率较快,利于合成e-Fe_3N磁性颗粒。 相似文献