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采用直流辉光放电化学气相沉积设备,以H2/CH4/Ar混合气体为工作气体,在2英寸硅片沉积出了晶粒尺寸为20~ 40 nm的纳米金刚石薄膜.采用SEM、Raman、微摩擦试验机等分析了不同CH4浓度、Ar浓度对NCD薄膜生长特性的影响.研究结果表明:金刚石薄膜的晶粒尺寸随着CH4浓度的增加而减小,但是过高的CH4浓度会导致石墨相大量生成;随着Ar浓度的增加,金刚石薄膜的晶粒尺寸逐渐细化,但过量Ar的掺入会降低金刚石薄膜的质量;在合适的工艺参数下,薄膜摩擦系数最低可以降低到0.12,NCD薄膜的最大沉积直径为140 mm. 相似文献
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大气压介质阻挡放电(DBD)等离子体射流获得了广泛的应用.但是到目前为止,人们对其形成机理仍不甚清楚.为此,本文对其进行了一系列的实验研究.与其他采用高速CCD进行的研究不同,本文研究的主要手段是两个带有狭缝的光电倍增管,数码相机和电学测量.虽然这些实验条件相对比较简陋,但是本文仍然根据这些实验结果探讨了等离子体射流的形成机理,传输特性,以及影响等离子体射流长度的实验参数,并发现了“电荷溢流”现象.
关键词:
介质阻挡放电
电晕放电
大气压等离子体射流
电荷溢流 相似文献
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有许多种方法可用于在大气中产生等离子体射流,冷等离子体(离子温度在室温附近)射流即是其中的一种.近年来,人们发现氦气或其它惰性气体通过毛细管介质阻挡放电形成的冷等离子体射流具有类似子弹的传输特性,在有机材料表面改性、等离子体医学等领域获得了广泛的应用.通过专门设计的一系列实验,我们逐渐揭示了其产生机理,并深入研究了传输特性.文章简要介绍近年来我们所做的有关大气压冷等离子体的实验过程以及获得的一些重要结论.在对这种等离子体深入了解的基础上,作者还开发了一种新装置,该装置的最大特点是既利用了氦气在辅助放电方面的特性,又不消耗这种昂贵的资源;并且它还特别适合于在臭氧层修复、等离子体医学等方面的应用. 相似文献
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低温等离子体物理与技术的研究在国内受到了越来越多的重视.在等离子体中发现的一些有趣的物理现象,如磁场重联、尘埃等离子体等,使人们对等离子体物理的研究掀起了新的热潮.在应用方面,几乎所有理工类实验室都有涉及低温等离子体技术的实验装置,这使得在我国低温等离子体应用方面的研究非常普及,包括微电子工业中的等离子体工艺,各种坚硬、耐腐蚀、耐摩擦材料的制备,纳米材料的制备,聚合物以及生物材料的表面改性,等等.随着低温等离子体技术的发展,低温等离子体的诊断技术也随之发展起来.文章简要地介绍了近几年来低温等离子体研究在我国的发展,介绍了一些有关低温等离子体的热点研究课题. 相似文献
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Morphological study of the localized growth of materials in dielectric barrier discharge 总被引:1,自引:0,他引:1 下载免费PDF全文
The localized growth of materials has been realized in a dielectric barrier discharge reactor in the mixture of acetylene and argon in previous work. In this paper, the morphology of the materials synthesized in the process is studied. The results indicate that the polymer's structure consists of three layers. The layer near the substrate is homogeneous with thickness of several micrometres; the middle layer is composed of dense bulges with height of about more than 10μm in average. The distance between two neighbouring bulges is about 230μm; the top layer is made up of a few large columns with the height up to 2mm, and with the average distance of about 3.5mm. The growth of the three layers corresponds to three types of discharge. The discharge mechanism is analysed through studying the morphology of the polymer. It can be deduced from the morphology that the first and second discharge phases should belong to the Townsend breakdown, and the last discharge phase should be explained on the basis of the streamer mechanism. 相似文献
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用ICCD拍摄的大气压等离子体“子弹”流照片.两电极之间所加电压频率为17kHz,电压峰峰值为6kV,工作气体为氦气.在一个电压周期内,等离子体射流在左边电极内侧产生并向右侧发展,如同一颗“子弹”在飞.从左至右的拍摄时刻分别为80,340,500,600,820和900ns,曝光时间为10ns.这张照片表明:不同于过去的猜测,放电主要还是在空间的沿石英管中心轴传输的streamer,其运动轨迹为绕中心轴的螺旋线. 相似文献
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