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本研究是为了设计一套大流量、清洁的真空差分系统.计算了超重反冲核实验装置终端真空差分系统各级的真空度;介绍了差分系统的设计和真空泵、测量设备选择;选择能在高压强下连续运行的新型分子/增压泵作为过渡流范围内的主排气泵,对分子增压泵进行了性能测试并对差分系统进行了模拟靶室实验,最后对实验结果进行了分析. 相似文献