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Significant suppression of residual nitrogen incorporation in diamond film with a novel susceptor geometry employed in MPCVD 下载免费PDF全文
Weikang Zhao 《中国物理 B》2022,31(11):118102-118102
This work proposed to change the structure of the sample susceptor of the microwave plasma chemical vapor deposition (MPCVD) reaction chamber, that is, to introduce a small hole in the center of the susceptor to study its suppression effect on the incorporation of residual nitrogen in the MPCVD diamond film. By using COMSOL multiphysics software simulation, the plasma characteristics and the concentration of chemical reactants in the cylindrical cavity of MPCVD system were studied, including electric field intensity, electron number density, electron temperature, the concentrations of atomic hydrogen, methyl, and nitrogenous substances, etc. After introducing a small hole in the center of the molybdenum support susceptor, we found that no significant changes were found in the center area of the plasma, but the electron state in the plasma changed greatly on the surface above the susceptor. The electron number density was reduced by about 40%, while the electron temperature was reduced by about 0.02 eV, and the concentration of atomic nitrogen was decreased by about an order of magnitude. Moreover, we found that if a specific lower microwave input power is used, and a susceptor structure without the small hole is introduced, the change results similar to those in the surface area of the susceptor will be obtained, but the spatial distribution of electromagnetic field and reactant concentration will be changed. 相似文献
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模型传递是近红外光谱分析技术中一个关键的共性基础技术问题,通过在同一工作原理的两台仪器之间寻求可行的数学方法, 使得在一台仪器上建立的模型能够应用于另外一台仪器样品光谱响应的预测,对近红外技术的实际应用具有重要意义。以150份烤烟作为试验样品,以两台布鲁克公司MPA近红外光谱仪,一台热电公司Antaris近红外光谱仪作为研究对象,通过积分球漫反射检测技术获得光谱数据。采用一阶导数(first-order derivative,1st Der)和标准正态变量变换(standard normal variate, SNV)对光谱数据进行处理分析,计算不同仪器间光谱的残差值、残差一阶矩、残差信号概率密度和最大信噪比等参数,并采用偏最小二乘法(partial least squares, PLS)建立烤烟总糖含量数学模型,检验模型传递效果。结果表明,一阶导数具有降低残差一阶矩,将仪器偏差信号转换为标准高斯分布的优点,但同时会降低信噪比。标准正态变量变换同样可以降低一阶矩,同时可大幅度提高信噪比,但无法将仪器偏差信号转换为标准高斯分布,需要进一步的信号处理。一阶导数与SNV相结合可保留两种方法的优点,同时在一定程度上弥补每种方法单独处理的缺点,是一种可以消除以积分球漫反射作为光谱测量方式的因仪器厂家或型号不同、使用年限不同等原因所产生的噪声的处理方法,可实现傅里叶型近红外光谱仪之间的模型传递效果的明显改善。 相似文献
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为实现高功率激光二极管堆栈光束的匀化与整形,提出基于双柱透镜慢轴准直的匀化系统。利用双柱透镜实现对高填充因子激光二极管慢轴方向光束发散角度的压缩,降低成像型多孔径光束积分器中微透镜的数值孔径,减小匀化系统体积。通过三个限定条件确定了双柱透镜参数取值范围,并通过像差分析对双柱透镜进行了优化,实现慢轴方向光束剩余发散角度1.74。结合成像型多孔径光束积分器,设计了激光二极管堆栈的匀化系统,并进行了实验测试。实验结果表明,在中心光斑尺寸约为6 mm6 mm范围内,光斑不均匀性为8.11%。 相似文献
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基于全尺寸铁路车轴疲劳试验,观察并分析了微动区损伤形貌及损伤机理.基于测量的磨损轮廓建立有限元模型,计算分析了微动磨损对过盈配合面微动参量及轴向应力的影响.结果表明:轮座近加载侧存在1个宽度约为20 mm的微动损伤区,根据形貌特征可以分为3个区域.仿真得到的微动滑移区宽度与损伤区宽度基本一致,张开区宽度略小于磨损区.未磨损时,接触压应力、摩擦剪应力及轴向应力峰值均出现在接触最边缘;在微动磨损作用下,接触压应力、摩擦剪应力、轴向应力峰值出现在磨损-未磨损边界,且轴向应力数值在磨损区由负变正.磨屑的存在为接触面提供承载平台,在一定程度上抑制应力集中向内部转移. 相似文献
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近年来,夹层化学在固态超分子化学中的应用得到了越来越多的关注.作为一种常见的主体,α-磷酸锆(α-Zr(HP04)2·H20,简写为α-ZrP)能方便地将碱性客体插入层间[1].本工作拟以α-ZrP为主体,插入合适的手性分子寻求在对映体拆分上有用的固载化手性拆分剂.本研究组最近合成的手性二氧大环多胺如下所示,通过研究表明,作为手性溶解剂(CSA),它对于一些手性羧酸具有很好的对映体识别能力.本工作以这种手性二氧大环多胺为客体希望作些探索性研究. 相似文献
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试样尺度、缺口和加载方式通常对材料的疲劳性能具有重要影响.因此,发展关联试样尺度、缺口和加载方式对疲劳强度影响的方法对于从材料疲劳性能到结构件疲劳性能的预测具有重要意义.首先,采用旋转弯曲加载和轴向加载方式对不同几何形状EA4T车轴钢试样进行了疲劳实验.实验结果表明,由于试样尺度的增加,轴向加载下狗骨形试样的疲劳强度明显低于沙漏形试样;相同寿命下,缺口显著降低试样的疲劳强度.疲劳断口扫描电镜观测结果表明,疲劳裂纹均起源于试样表面.沙漏形试样和狗骨形试样疲劳断口大多只有一个裂纹源,而缺口试样疲劳断口均具有多裂纹源特征.然后,采用概率控制体积方法研究了试样尺度、缺口和加载方式对疲劳强度的影响,并与临界距离和应变能密度方法进行了比较.结果表明,概率控制体积方法能够更好地关联试样尺度、缺口和加载方式对EA4T车轴钢疲劳强度的影响.最后,提出一种基于控制体积的结构件疲劳强度预测方法,并用于具有不连续高应力区域车轴钢试样的疲劳强度预测,预测结果与实验结果吻合. 相似文献
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