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121.
采用微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积(MWPECRCVD)方法,使用不同的源气体(CHF3CH4,CHF3C2H2,CHF3C6H6)体系制备了aC∶F∶H薄膜.由于CH4,C2H2,C6H6气体在等离子体中的分解反应不同导致了薄膜的沉积速率和结构上的差异.红外吸收谱的结果表明,用C6H6CHF3作为源气体沉积的薄膜中几乎不含H,而用C2H2CHF3所沉积的薄膜中的含氟量最高,其相应的CF振动峰位向高频方向偏移.薄膜的真空退火结果表明,aC∶F∶H薄膜的热稳定性除了取决于薄膜的CC键浓度外,还与CC键
关键词:
氟化非晶碳膜
电子回旋共振化学气相沉积
红外吸收光谱 相似文献
122.
由J. T. Pindera提出的平面isodyne法是散光法的一种发展。具有非破坏性直接测取受力物体内部应力的特点。不需要大功率的激光器,条纹清晰,无畸变,对于平面应力问题可以得到应力分量的全部信息。在复合材料力学、断裂力学和接触问题等领域有广泛的应用前景。文章闸述了该方法的原理和技术,并应用它得到一受三点弯曲荷载的有裂纹的复合材料梁粘结层的应力分布。 相似文献
123.
124.
126.
采用基于密度泛函理论框架下的第一性原理平面波超软赝势方法,结合局域密度近似(LDA)研究了钙钛矿结构氧化物LaAlO3/SrTiO3界面的电子结构及光学性质.能带结构分析表明当形成(AlO2)-/(TiO2)0界面时其禁带宽度为1.888 eV,呈现绝缘体的性质,当形成(LaO)+/(SrO)0界面时其禁带宽度为0.021eV,呈现半导体或半金属性质.同时,对不同界面的光学性质也进行了研究,结果表明纯相的LaAlO3和SrTiO3的吸收系数、反射系数及能量损失谱强度明显高于由这两种单质形成不同界面的强度. 相似文献
127.
128.
谱带吸收式光纤温度传感器 总被引:7,自引:1,他引:7
本文提出了一种新颖的半导体谱带吸收式光纤温度传感器系统结构.分析了半导体谱带吸收式光纤温度传感器的原理,推导了其数学模型.该传感器用反射式传感结构,以砷化镓半导体材料作为温度敏感元件,并利用除法器消除了传感器光源的波动及光纤的连接损耗,使传感器具有结构简单、抗环境干扰、高可靠性特点.文中对传感器的整个系统进行了设计和分析,并进行了实验测试,实验结果显示:该传感器在-20~110℃的温度范围内有1℃的测量精确度,并且温度从110℃降到15℃时的时间响应为25s. 相似文献
129.
130.
新当选的院士梁敬魁新当选的梁敬魁院士是物理化学家。汉族,1931年4月28日生,福建省福州市人。1955年毕业于厦门大学化学系物理化学专业。1956年至1960年为莫斯科苏联科学院冶金研究所晶体化学研究室金属合金热化学和晶体化学专业研究生,1960年获苏联科学院技术科学副博士学位,1960年回国后至今一直在中国科学院物理研究所从事研究工作,1984年?.. 相似文献