Nano-scale gap filling and mechanism of deposit-etch-deposit process for phase-change material

Ge2Sb2Te5 gap filling is one of the key processes for phase-change random access memory manufacture.Physical vapor deposition is the mainstream method of Ge2Sb2Te5 film deposition due to its advantages of film quality,purity,and accurate composition control.However,the conventional physical vapor deposition process cannot meet the gapfilling requirement with the critical device dimension scaling down to 90 nm or below.In this study,we find that the deposit-etch-deposit process shows better gap-filling capability and scalability than the single-step deposition process,especially at the nano-scale critical dimension.The gap-filling mechanism of the deposit-etch-deposit process was briefly discussed.We also find that re-deposition of phase-change material from via the sidewall to via the bottom by argon ion bombardment during the etch step was a key ingredient for the final good gap filling.We achieve void-free gap filling of phase-change material on the 45-nm via the two-cycle deposit-etch-deposit process.We gain a rather comprehensive insight into the mechanism of deposit-etch-deposit process and propose a potential gap-filling solution for over 45-nm technology nodes for phase-change random access memory.     

双波长高灵敏度Bragg光纤光栅压力传感器

裸光纤光栅压力灵敏度只有 -2. 05×10-6 /MPa,这样并不能将其用于低压力范围内的测量 本文改进了封装结构,利用金属管结构对光纤光栅部分封装,制作成双波长高灵敏度光纤光栅压力传感器 其压力灵敏度在 0~0. 44MPa的范围内可达-2. 44×10-3 /MPa,是裸光栅的 1200倍,大大提高了光纤光栅压力传感的灵敏度 采用自行研制的Bragg光纤光栅,其反射波长为 1558. 00 nm,峰值反射率为 99% 封装后的Bragg光纤光栅位于铜管的轴心,将其一部分 (约光纤光栅的二分之一 )封装到长 25mm,外径 10mm厚为 0. 8mm的铜管内 室温为 18℃时将封装好的光…     

基于复杂网络上的演化博弈

论述了基于复杂网络的演化博弈.通过介绍相应的演化博弈模型-囚徒困境模型以及一些复杂网络,鉴于复杂网络的优点以及博弈演化的特性,将两者巧妙的结合起来,介绍了研究这类问题的一些方法.     

纳米荧光探针用于核酸分子的检测及成像研究

核酸,包括脱氧核糖核酸和核糖核酸,在生物的生长、发育、突变、炎症、癌症等正常或异常的生命活动中发挥着重要的作用,它们的异常表达与多种疾病的发生、发展也密切相关.因此,发展准确、有效的方法实现核酸分子的检测,对深入探究核酸的功能调控以及相关疾病的早期检测与治疗都具有重要的意义.荧光检测法与荧光成像技术具有灵敏度高、时空分辨率高等优点,为实时、准确的检测核酸分子提供了有力的工具.本文着重综述了近年来发展的纳米荧光探针用于疾病相关核酸分子的检测与细胞和活体成像工作的研究进展,最后提出了进一步构建新型纳米荧光探针用于核酸检测面临的挑战、未来发展方向与展望.     

气相色谱-电子捕获检测器同时测定硝基咪唑类药物

建立了气相色谱-电子捕获检测器同时测定硝基咪唑类药物含量的方法.样品用磷酸盐调节pH约为8.8,乙酸乙酯提取,无水硫酸钠脱水.采用CBP-1毛细管柱分离,电子捕获检测器检测.甲硝唑、替硝唑、奥硝唑分别在0.2～15 μg/mL、5.3～53μg/mL、4.0～40μg/mL范围内与峰面积呈良好线性关系,相关系数r分别为0.9993、0.9996、0.9995.样品加标回收率在95.8%～101%之间,相对标准偏差在1.8%～3.4%之间.本法简便、快速,可用于片剂和注射液中硝基咪唑类药物含量的测定.     

3,6-二甲基-9-芳基-2,7-二氧杂-1,2,7,8,9,10-六氢-1,8-吖啶二酮衍生物的一步合成

以芳醛、6-甲基-4-羟基-2-吡喃酮、醋酸铵为原料, 醋酸为溶剂, 一步合成了一系列3,6-二甲基-9-芳基-2,7-二氧 杂-1,2,7,8,9,10-六氢-1,8-吖啶二酮, 产物的结构经红外、核磁、元素分析进行了表征, 并对反应过程提出了可能的机理.     

杀菌剂抑霉唑在梨子中残留动态分析

提出了通过液-液萃取,而后用气相色谱方法测定梨中抑霉唑残留量的方法.对已报道的样品提取、纯化方法进行了改进.本试验以丙酮作提取剂,经乙酸乙酯萃取,用高灵敏度气相色谱μ-ECD检测器测定.方法检出限为0.01 mg/kg,平均回收率为80.5%～111.8%,相对标准偏差为0.3%～3.3%.该法可用于梨肉和梨皮中抑霉唑残留量的测定.同时,还对抑霉唑由梨皮向梨肉的迁移,在梨体上的降解等动态进行了测定.     

烷烃同系物对液膜振荡的影响

基于表面活性物质在互不相溶的油水两相间自发迁移引起油水界面电位的周期性变化的液膜振荡可用于模拟生物膜振荡,并根据生物膜对某些分子具有的独特电位振荡作为识别分子的信号,可用于化学分析。 建立了水（十六烷基三甲基溴化铵（CTAB）/正丙醇 水溶液）/油（苦味酸硝基甲烷溶液）/水（葡萄糖水溶液）液膜振荡体系。 通过向体系中添加正己烷、正辛烷、正癸烷、正十二烷、正十四烷、正十六烷、环己烷和异辛烷等物质,考察了不同碳数的烷烃同系物、烷烃同分异构体以及混合烷烃对振荡的影响。 结果表明,加入不同类型的烷烃,振荡曲线的诱导期和振荡区的振幅和频率呈现一定规律性变化,以此可进一步进行液膜振荡在烷烃同系物识别与分析中的应用研究。     

从N-Fmoc-L-α-氨基酸合成对应的同系物N——Fmoc-L-β-氨基酸(I)

描述了以重氮甲烷为重氮化试剂,以商品易得的N-Fmoc-L-α-氨基酸为原料,成功地运用Arndt-Eistert合成,仅通过两步反应,就高产率地合成了8个对应的同系物N--Fmoc-L-β-氨基酸的方法。