用于0.35 μm接触孔图形相移掩模研究

基于霍普金斯（Ｈｏｐｋｉｎｓ）理论,通过计算０．３５μｍ方孔的传统透射掩模、边缘相移掩模部分边缘相移掩模、辅助相移掩模以及衰减相移掩模的硅片表面空间像的光强分布,找出了适合于各种相移掩模的最佳参数。其中衰减相移掩模对提高光刻分辨率和增加焦深最为明显,尤其在相干因子（σ）较小时更是如此。     

毫米波光学系统

毫米波长频谱区介于波长以厘米为单位的微波和频率比微波还要高100多倍以微米为单位的红外光之间。因此,应用类似于相邻频谱区所用的技术时,在传播和与物质的相互作用方面,毫米波具有一些明显的优点。开发毫米波的动机在于它们有各种各样的应用,而且毫米波有三个具有吸引力的主要特征。下面将介绍毫米波的一些应用实例。毫米波存在着一些特别重要的特殊频     

红外光学材料主要性质的测量(一)

红外光学材料的成功应用取决于了解它们的光学透过率、折射率、均匀性和双折射性质。本文重点介绍测量原理和测量方法。要将光学系统设计成能在指定的波长范围内工怍,必须知道该系统所用材料的特性,并在这些范围内进行测量。一个最重要的光谱应用区是红外,波长约为0.7μm。     

强度调制光纤传感器

纤维光学传感器是广泛应用传感技术的基础,众所周知,光纤的优越性使其用于传感器特别有吸引力,而且大多数物理量可以用这些传感器来传感。可以传感的一些现象包括光强、位移(位置)、温度、压强、转动、声音、应变、磁场、静电场、辐射、流动、液面、化学分析和振动等。强度调制光纤传感器是简单的接通或断开型传感器的改进型。计数器和开关采用了通-断脉冲的数字特性,而透射和反射型光纤传感器在性质上是模拟型的。测量时,这种传感器调制输出光的强度。此外,还有两个光纤传感器即微弯曲传感器和本征传感器属于此类。     

火箭发射训练用的目标模拟器

一、发明背景本发明与武器模拟器有关,特别与训练龙式导弹等反装甲武器的射手的武器模拟器有关。为了使军队作战训练按逼真的又不危及参加演习人员的方式进行,就需要有一种能模仿龙式导弹发射系统或其它导弹发射系统     

法国的军用激光研究

与YAG激光器相比,CO_2激光器具有基本的适于作战的优点,因此可能作为下一代的激光系统出现在1990年的地平线上。法国的军用激光研究活动可用技术发展阶段来进行分析。本文将集中到近期活动:包括目前正在生产而且肯定是需要的Nd:YAG激光器,中期及远期活动:co_2激光系统看来很有希望,但不包括对抗措施的激光研究和新激光器基础研究。 Nd:YAG激光器法国的主要计划是机载ATLIS系统,该系统能使单座战斗机上的激光照明光束在从空中向地面进攻时,盯住目标。汤姆逊—CSF