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大气压氩气介质阻挡放电中的电子激发温度 总被引:4,自引:4,他引:4
采用发射光谱强度比法,测量了大气压氩气介质阻挡放电(DBD)中的电子激发温度。实验在690~800 nm的范围内测量了大气压氩气DBD的发射光谱,经分析发现这些谱线全部是氩原子的发射谱线。为了测量电子激发温度,选用相距较近的763.51 nm(2P6→1S5),772.42 nm(2P2→1S3)的两条光谱线。结果发现电子温度的范围为0.1~0.5 eV,电子激发温度随电压的增加而增加,随流量的增加而减小。实验还发现氩气流动与非流动时电子激发温度有明显的差别。上述结果对介质阻挡放电在工业领域上的应用具有重要意义。 相似文献
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仪器展宽对大气压等离子体电子密度测量的影响 总被引:2,自引:0,他引:2
实验使用两台不同的单色仪,采用光谱线型法测量了大气压氩气介质阻挡放电中的电子密度.诊断结果表明,由于不同的单色仪其仪器加宽不同,仪器加宽对总的光谱线型有较大影响.通过考虑等离子体中的各种加宽机制,采用卷积和反卷积的方法对氩原子发射谱线线型进行了分析,从整个光谱线型中分离出Stark线型,排除了仪器加宽对最终诊断结果的影响.从而最终测量了大气压氩气介质阻挡放电中的电子密度.测量得到在大气压氩气介质阻挡放电中单个放电丝存在时,电子温度为10000K时,电子密度约为3.05-3.26×1021 m-3.此方法不仅可以应用在大气压介质阻挡放电中,还可以用于测量其它大气压等离子体电子密度. 相似文献
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大气压等离子体射流在诸多领域具有非常广泛的应用。为了提高大面积材料的处理效率,通常需要将多个射流排列为射流阵列,但由于阵列中等离子体羽间的相互作用,实际上很难产生大面积均匀等离子体羽。针对于此,本文利用直流电压激励单电极氩气射流阵列,产生了大面积均匀等离子体羽。研究发现,在低电压下放电为分立的等离子体羽,而高电压下为均匀片状等离子体羽。片状等离子体羽随着电压、氩气流量及空气流量的增加而变长。电学和光学测量结果表明,分立等离子体羽的放电电流和发光信号均为频率很高的小脉冲。片状等离子体羽的电流和发光信号为频率很低的大脉冲,并且在两个大脉冲之间也存在着小脉冲。利用高速影像对分立羽和片状羽的产生机制进行了研究。结果表明分立羽中阳极羽对应正流光放电机制,而阴极羽对应汤森放电机制。片状羽的击穿机制也是流光机制,流光击穿后会产生辉光放电丝,此后辉光微放电丝沿着气流向下游运动。此外,利用光纤测温仪对片状等离子体羽的气体温度进行了研究,发现片状等离子体羽的气体温度不超过65℃。 相似文献
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采用蒙特卡罗方法,对以CH4/H2为源料气体的电子助进化学气相沉积(EACVD)金刚石中的氢原子(Hα,Hβ和Hγ)、碳原子C(2p3s→2p2: λ=165.7 nm)以及CH(A2Δ→X2Π: λ=420~440 nm)的发射过程进行了模拟,研究了衬底温度对各发射谱线以及金刚石膜合成的影响。结果得知,各谱线强度随衬底温度的变化幅度很小,且在衬底表面附近的谱线强度随衬底温度的变化幅度相对于远离衬底的反应区域较大,这表明衬底温度的变化基本上不改变远离衬底的反应区域中反应基团成分,而只对衬底表面附近的反应过程有影响。由此得知,衬底温度对薄膜质量的决定性主要是由于衬底温度改变了衬底表面化学反应动力学过程和表面附近的反应基团的缘故,而不是衬底温度对反应空间中气相成分的影响。 相似文献
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根据光谱学,总的光谱线型是各种加宽机制的卷积结果。考虑到等离子体中的离子碰撞,Stark加宽本质上是一种非对称的光谱线型, 其中微场分布函数对光谱线型起着非常关键的作用。该文利用不同的微场分布函数研究了微场分布函数对总的光谱线型的影响。研究结果表明,在电子加宽参数和离子加宽参数很小时,不同微场分布函数对整个光谱线型的影响基本相似,但随着离子加宽参数的增加,3种不同的微场分布函数对Stark光谱线型的影响逐渐增加; 随着电子加宽参数的增加,不同的微场分布函数对Stark光谱线型的影响也逐渐增加; 但总体上Holtsmark分布和Nearest-Neighbor场分布下的光谱线型差别较小,但是Mayer模型对光谱线型影响较大。特别是,当离子加宽参数较大时,Mayer模型对光谱线型的影响异常明显,这也正说明离子间碰撞剧烈时对光谱线型的影响很大。该结果对等离子体参数诊断有一定参考价值。 相似文献
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Influence of oxygen addition on the discharge characteristics of an argon plasma jet at atmospheric pressure 下载免费PDF全文
Junyu Chen 《中国物理 B》2022,31(6):65205-065205
Plasma jet is an important low-temperature plasma source in extensive application fields. To promote the production of active oxygen species, oxygen is often introduced into the inert working gas. However, the influence of oxygen content on the discharge characteristics of an argon plasma jet is not clear. Aim to this status, an argon plasma jet in a single-electrode geometry is employed to investigate the influence of oxygen concentration (CO) on discharge aspects. Results indicate that with increasing CO (≤ 0.6%), the plume transits from a diffuse morphology to a hollow structure. Electrical and optical measurements reveal that both discharge number per voltage cycle and pulse intensity alter with varying CO. Moreover, discharge morphologies of negative and positive discharges obtained by fast photograph also shift with varying CO. Besides, optical emission spectra are collected to investigate atomic CO, electron density, and electron temperature. The results mentioned above are explained qualitatively, which are believed to be of great significance for the applications of atmospheric pressure plasma jet. 相似文献
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大气压氩气/空气介质阻挡放电中分子振动温度 总被引:6,自引:3,他引:6
使用水电极介质阻挡放电装置,在氩气和空气混合气体放电中,利用光谱方法测量了氮分子(C3Πu)的振动温度及其随空气含量的变化关系。计算中采用的是氮分子第二正带系(C3Πu→B3Πg)的发射谱线,顺序带组有:Δv=-1,Δv=-2和Δv=-3。结果表明:大气压介质阻挡放电中氮分子振动温度范围为1 938~2 720 K,振动温度随空气含量的增加几乎是线性增加的。该工作对研究介质阻挡放电中等离子体的动力学过程具有重要意义。 相似文献