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31.
采用直流磁控溅射并通过优化工艺参数,在(100)Si衬底上成功制备了高度(100)择优的MgO薄膜和MgO/TiN双层膜结构.对 (100)MgO择优取向温度影响机理做了详细讨论,并利用XRD,AFM,FESEM等手段研究了在(100)Si和(100)TiN/Si两种衬底上,不同工艺条件下MgO薄膜的表面和断面微观结构,表征了MgO薄膜的柱状生长结构和与TiN薄膜的良好外延关系.在对薄膜光学特性的研究中,利用Sellmeier模型获得了Si上MgO薄膜在可见光波段的折射率参数(550 nm处折射率为1.6
关键词:
MgO薄膜
择优取向
直流溅射
折射率拟合 相似文献
32.
在MOCVD设备中采用改进的射频辅助生长装置,通过裂解N2及N-Al共掺杂的方法进行ZnO的p型掺杂研究。通过二次离子质谱(SIMS)、X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、光致发光(PL)谱等方法分析了薄膜中N杂质的浓度,以及射频功率与晶体质量、表面形貌以及光学特性之间的关系,并与Al掺杂和N掺杂的ZnO薄膜进行对比。实验结果表明,N掺杂的浓度高达1020cm-3;N-Al共掺杂极大地增加了ZnO的成核速率,其主要原因是N离化所起的作用;N-Al共掺的ZnO薄膜显示出p型性质,而N掺杂的ZnO薄膜由于N原子处于非激活状态而呈现高阻,这说明N-Al共掺杂对ZnO中N原子的活化起到一定作用。 相似文献
33.
34.
同步辐射弧矢聚焦双晶单色器传输效率的研究 总被引:1,自引:2,他引:1
本文对理想弧矢聚焦双晶单色器的相对传输效率进行理论分析;对第一晶体受高热负载发生的形变及第二晶体的鞍型形变对单色器的传输效率影响的原因,抑制第一晶体热形变、第二晶体鞍型形变所采取的结构和方法进行了简单的叙述;并对采取直接水冷的第一晶体和背部加肋的第二晶体进行了SHADOW光学追踪分析;进而得出整个单色器的实际传输效率. 相似文献
35.
36.
37.
38.
柱上衍生反相色谱法测定金属配合物的稳定常数 总被引:7,自引:0,他引:7
提出一种计算金属配合物稳定常数的新方法。应用住上衍生反相高效液相色谱法,以二乙基二硫代氨基甲酸钠为配体,测定金属配合物的保留时间,用以推导金属配合物的稳定常数。 相似文献
39.
40.
Al3Ti1B1RE细化剂对罐用铝材的细化效果及稀土的作用 总被引:6,自引:0,他引:6
采用XRD,OM,SEM,EDAX等探讨了一种新型Al3Ti1B1RE中间合金细化剂对罐用铝材的细化效果及RE的作用。结果表明,该细化剂对罐用铝材的细化效果优于进口和国产Al3Ti1B,且具有长效性,达6h后仍未见明显衰退,明显提高了该材料的强度和塑性;其细化效果及稳定性好的主要原因是:RE可降低铝液的表面能,增加铝液对细化核心(如TiAl3,TiB2)的润湿性,既充分发挥了异质形核作用,又防止了TiB2聚集沉淀倾向;RE也极易在结晶前沿富集造成成分过冷,阻碍了α-Al晶粒生长,并促进其在细化核心上形核;此外RE还兼有一定的净化、细化和变质作用,尤其是净化作用提高了该细化剂的冶金质量。 相似文献