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利用射频磁控溅射技术在LaNiO3/SiO2/Si(100)基底上制备了厚 度约为250 nm的0.65PMN-0.35PT(PMN-PT)薄膜. 研究高压氧氛围退火方式对PMN-PT薄膜晶体结构、形貌以及电学性能的影响. 经过XRD测试发现,在高压氧气氛围中, 温度为400℃下退火后的PMN-PT薄膜具有纯的钙钛矿相结构, 具有完全的(100)择优取向, 且衍射峰尖锐, 表明经过高压退火后的薄膜结晶极为充分. SEM表面形貌测试结果显示, 经高压退火处理的PMN-PT薄膜表面呈现出棒状或泡状的形貌. 铁电性能测试表明: 氧气氛围压强4 MPa, 退火时间4h的PMN-PT薄膜样品具有较好的铁电性能, 其剩余极化强度Pr达到10.544 μC/cm2, 且电滞回线形状较好, 但漏电流较大, 这可能是由于其微结构所导致.同时介电测试发现: PMN-PT薄膜样品具有极好的介电性能, 其在1 kHz下测试的介电常数εr达到913, 介电损耗tgδ 较小, 仅为0.065.
关键词:
射频磁控溅射
高压退火
0.65PMN-0.35PT
介电 相似文献
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用模糊集合与模糊等价关系对单向奇异粗集进行了研究,并给出了单向奇异粗糙模糊集合的数学结构及其并、交、补运算和性质.同时证明了单向奇异粗糙模糊集合对并、交、补运算构成完全可无限分配的软代数. 相似文献
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模糊属性层次模型用于质量评价 总被引:1,自引:0,他引:1
将三角模糊数引入属性层次分析模型,相关文献建立了模糊属性层次模型,使对无结构决策问题的评价更贴近实际.旨在完善这个模型,并阐述该模型在质量评价中的应用. 相似文献
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多元函数取条件最值的充分条件 总被引:2,自引:1,他引:1
根据泰勒公式以及实二次型的正定理论,本文介绍”中利用矩阵判定函数取得条件最值的充分条件,该结论具有一般性。若z=f(x)与gk(x)船可微,则z=f(x)在gk(x)=0时(k=1,2,…,m且m<n)于c处取条件最值的必要条件是:存在人一(x,砧,…,此)ER”,使得点风(c,入)是拉格朗回函数。)的稳定点,这里如果在此基础上我们对有关函数的限制加强,则可继续作如下讨论。设P。什,入)是拉氏函数的稳定点,X一八X)与以(X)是二阶连续可徽的,设A是满足约束条件:g。(x)一0的一切点x的集合,则任取c的充分小的0邻域U(c,… 相似文献