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研究了单晶硅片中维氏压痕诱生的位错在不同气氛下高温快速热处理中的滑移行为.研究表明: 在快速热处理时, 位错在压痕残余应力的弛豫过程中能发生快速滑移; 当快速热处理温度高于1100℃时, 在氮气氛下处理的硅片比在氩气氛下处理的硅片有更小的位错滑移距离. 我们认为这是由于氮气氛下的高温快速热处理在压痕处注入的氮原子钉扎了位错, 增加了位错的临界滑移应力, 从而在相当程度上抑制了位错的滑移. 可以推断氮气氛下的高温快速热处理注入的氮原子增强了硅片的机械强度.
关键词:
快速热处理
位错滑移
机械性能
单晶硅 相似文献
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本文描述了北京谱仪BES主漂移室一个多层多单元模型的结构, 给出在日本KEK12GeV质子同步加速器K2试验束上, 利用动量0.5~1.5GeV/c的e+,π+和p束测量模型性能的主要结果. 在3.1cm的单元半宽内, 室的单丝空间分辨率σx=170~210μm. 相当四十次dE/dx取样的能量分辨率σE/E约为15%, 提供了北京谱仪工作能区鉴别粒子的一种有效方法, 可同飞行时间(TOF)计数器和簇射计数器相互补充. 相似文献
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探索命题规律,不断发展完善──高考数学命题演变分析任子朝编者按从1978年开始到1993年这十几年间,高考命题工作如何演变的;如何由经验型向科学性转化;如何由知识质量观向能力质量观转化,本文作了清楚的说明,并且反映了命题的指导思想.此文说明了高考命题... 相似文献
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氢化锂铝(LiAlH_4)的发现及其化学反应的研究,迄今不过11年的历史,可是它在化学领域上的应用已经日益广泛,并且其发展仍在不断的增长中。在目前,氢化锂铝除了主要的用在有机合成化学上,作为一种新型的强烈还原剂外,在有机分析上已被确定是一种测定化合物中活性氢的试剂。之外,它尚可被用来作为主要的药剂以制备多种金属或复金属的氢化物,以及某些种同位素的化合物如HD,C~(13)H_3OH及C~(14)H_2O等。 相似文献
178.
NMR核磁共振谱显示3,5-二甲基金刚胺盐酸盐是一个刚性结构,但其分子结构包含2个非对映体的立体构型形式. 我们通过利用DEPT,1H-1H COSY,HSQC和HMBC等技术所测得的二维谱图数据对NMR数据进行了完整的归属分析,其中13C NMR谱图显示在δ=29~54 ppm之间的十组峰表示所有碳的共振,而且由于不同的分子构象导致在13C NMR谱中有3个不同的季碳峰和1H NMR中的2个不同的甲基峰. 由于H-5的叔碳H原子与邻近CH2 的平面二面夹角均约为600,致使耦合常数极其小,波谱仪难以分辨它们从而使1H NMR峰为单重峰. 相似文献
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本文讨论正方形量子台球的输运性质,考虑电子以费米能量穿过台球区域,在台球出口和入口处对入射和出射波函数采用基尔霍夫散射.采用微扰论的Dyson方程得到半经典格林函数,并把赝路径半经典近似作微扰展开得到体系的传输矩阵元.比较了传输矩阵元的傅立叶变换谱的峰位置与腔内自由电子经典轨道长度,发现在精度允许范围内它们符合的很好. 相似文献
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印度科学家C.V.Raman于1928年首次观测到喇曼散射,因而获得1930年的诺贝尔奖。六十年代激光技术的发展为喇曼光谱提供了理想的光源。强度大,单色性好和偏振性强的激光代替了汞灯。将高质量的双单色仪、光电倍增管和微处理机配于喇曼光谱,使喇曼技术得以飞速的发展和广泛的应用。 相似文献