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131.
以十甲基环五硅氧烷和甲烷作为反应气体,采用电子回旋共振等离子体化学气相沉积(ECR-C VD)方法制备了k = 2.45,485℃下的热稳定性优良的SiCOH低介电常数薄膜.通过薄膜结构的 FTIR谱分析,比较了十甲基环五硅氧烷(D5)液态源和不同甲烷流量下制备的薄膜的键结构差 异,发现在沉积过程中甲烷含量的增大,一方面有利于D5源环结构的保留,另一方面有利于 薄膜中形成高密度的CHn基团.高密度碳氢大分子基团的存在降低了薄膜密度, 结合薄膜中形成的本构孔隙、低极化率Si—C键以及—OH键减少的共同作用,导致薄膜介电 常数的降低.
关键词:
低介电常数
SiCOH薄膜
碳氢掺杂 相似文献
132.
An optical atomic clock scheme is proposed that utilizes two lasers to establish coherent coupling between the 5s2 1S0 ground state of 88Sr and the first excited state, 5s5p 3P0. The coupling is mediated by the broad 5s5p 1P1 state, exploiting the phenomenon of electromagnetically induced transparency. The effective linewidth of the clock transition can be chosen at will by adjusting the laser intensity. By trapping the 88Sr atoms in an optical lattice, long interaction times with the two lasers are ensured; Doppler and recoil effects are eliminated. Based on a careful analysis of systematic errors, a clock accuracy of better than 2 x 10(-17) is expected. 相似文献
133.
使用1.54 μm的激光脉冲(脉宽约10 ns)诱导丹磺酰基标记的热敏性线性聚N-异丙基丙烯酰胺(PNIPAM)发生线团到小球的转变.当聚合物链中NIPAM单体与丹磺酰基基团的摩尔比由110增至300时,共价键合到聚合物主链上的丹磺酰基发色团对PNIPAM相转变行为的影响会随之减小.PNIPAM链塌缩经历成核过程(伴随着初始珍珠的形成,快弛豫时间τfast=0.1 ms)和珍珠的增长粗化阶段(慢弛豫时间τslow=0.5 ms),这与之前使用水溶性的1-苯胺-8-萘磺酸铵盐作为荧光探针研究PNIPAM在水溶液中的折叠动力学得到的结果类似.τfast在很宽的分子量范围内都与分子量无关,而τslow则随链长增加而略有增大. 相似文献
134.
研究了导H^+离子全固态电致变色器件性能退化摧在机制,发现有两个因素导致器件性能退化,在器件褪色过程中,存在于WO3薄膜中的水份将导致OH^-在WO3中积累而在其中产生碱性环境,WO3溶于碱性环境而生成钨酸盐,在较高电压作用下H2O电解释放出气体H2和O2而使膜层剥落,通过改进器件结构和改善制备工艺条件,获得了光学密度高达0.5,着色/漂白(Color/Bleach)循环次数高达10^6以上的性能 相似文献
135.
136.
137.
138.
139.
摄影测量图像处理的高精度误差补偿法 总被引:1,自引:0,他引:1
在高精度的摄影测量中,图像处理精度对整体测量精度起着至关重要的作用,但成像过程中摄像机对特征点图像的离散化采样,会造成图像与原始信号的失真,从而带来图像处理环节的误差。通过对图像处理过程中特征点总能量、能量分布弥散半径和图像处理窗口的特性分析,并以特征点中心位置、提取误差大小和能量密度函数的标准差之间关系为基础,提出一种针对离散化采样的误差补偿法。该方法仅需标定一次补偿参数,适用于所有摄像机和算法,可显著提升原有图像处理精度。实验证明,对于质心法和高斯拟合法,该补偿法可将图像提取精度提高到0.03pixel。 相似文献
140.