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通过反应磁控溅射过程中的等离子体发射光谱,研究了制备ZnO薄膜的沉积温度、氧气流量比例R=O2/(O2+Ar)对Zn和O原子发射光谱的影响,并结合ZnO薄膜的结构和物理性能,探讨了沉积温度在ZnO薄膜生长中的作用.研究结果显示:当R≥0.75%时, Zn的溅射产额随R的增加基本呈线性下降规律.当R介于10%—50%时,氧含量的变化相对平缓,有利于ZnO薄膜生长的稳定性控制.Zn原子发射光谱强度随沉积温度的变化可以分为三个阶段.当沉积温度低于250℃时,发射光谱强
关键词:
ZnO
薄膜生长
反应磁控溅射
等离子体发射光谱 相似文献
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866.
以MgO:LiNbO3为非线性光学介质,通过采用一种高性能腔反射镜实现了一种85mm短腔长的法布里-珀罗式的光学参量振荡器,产生THz电磁波的实验结果.这种短腔长THz参量振荡器比传统的160mm腔长的振荡阈值降低了22.3%;峰值能量提高了170%;频率调谐范围从0.5—2.4THz提高到0.8—3.1THz.还报道了一种基于平面金属丝网的法布里-珀罗干涉仪测量THz波线宽的实验结果.
关键词:
THz电磁波
OPO
非线性光学
3')" href="#">LiNbO3 相似文献
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Fabrication of bamboo-shaped GaN nanorods 总被引:1,自引:0,他引:1
H. Li J.Y. Li M. He X.L. Chen Z. Zhang 《Applied Physics A: Materials Science & Processing》2002,74(4):561-562
Bamboo-shaped GaN nanorods were formed through a simple sublimation method. They were characterized by means of X-ray powder
diffraction (XRD), transmission electron microscopy (TEM), high-resolution transmission electron microscopy (HRTEM) and selected-area
electron diffraction (SAED). The TEM image showed that the nanorods were bamboo-like. XRD, HRTEM and SAED patterns indicated
that the nanorods were single-crystal wurtzite GaN.
Received: 8 January 2001 / Accepted: 28 April 2001 / Published online: 20 December 2001 相似文献
868.
Laser driven shocks can lead to a dynamic failure, called film spallation. Here, we use a modified laser spallation set-up
to measure the dynamic adhesion of thin films and we propose a novel diagnostic technology. Based on correlation theory, new
spallation criteria for characterizing the progressive damage at the interface between the film and the substrate are established,
such as interface delamination, film spallation and film expulsion. With the help of the theory, the degree of damage and
the dimension of damage (i.e. fracture), such as the minimum width of delamination radius, the thickness of the film etc.,
are estimated. Experiments are carried out on epoxy/stainless steel and epoxy/Al, and the experimental results show that their
dynamic bonding strengths are about 25 MPa and 20 MPa, respectively. The detailed results, analyses and discussions are presented
in this paper.
Received: 6 February 2001 / Accepted: 3 December 2001 / Published online: 11 February 2002 相似文献
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