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本工作利用光学多道分析仪(OMA Ⅲ)测量了脉冲TEA CO2激光诱发的SiH4等离子体内H Balmer系的Hα,Hσ和Hγ线的线型。结果表明,三条谱线的FWHM(半值全宽度)随跃迁上能级的主量子数的增加而增加,即△λ1/2(Hα)<△λ1/2(Hβ)<△λ1/2(Hγ)。通过对等离子体内各类加宽机制的讨论,得出等离子体内谱线的主要加宽机制为Stark加宽。由Hα线的实验线型与Stark加宽理论线型的拟合,得到等离子体的两个重要参量,平均电子密度N≈1017cm-3,电子温度T≈40 000K。由Hβ线的时间分辨测量得到等离子体的电子密度随时间的演变曲线。
关键词: 相似文献
122.
123.
124.
应用X射线三晶衍射对LaAlO3衬底上生长的YBa2Cu3Oy薄膜中的应力水平、存在的主要缺陷,以及薄膜与衬底的失配和取向关系等进行了研究。结果表明,薄膜在衬底上几乎完全松弛,应力很小,薄膜存在较严重的晶格取向差缺陷,这是影响薄膜晶体结构完整性的主要因素。此外,衬底与薄膜在垂直于表面和平行于表面方向都存在取向差。
关键词: 相似文献
125.
C60和C60/C70的激光脱附飞行时间质谱分析 总被引:1,自引:1,他引:1
采用激光脱附并直接测量离子的方法对实验室提取的C_(60)/C_(70)以及进一步分离得到的纯C_(60)进行了飞行时间质谱分析,并讨论了质谱分析过程中实验条件对结果的影响. 相似文献
126.
FORMATION OF A BURIED LAYER OF ALUMINIUM NITRIDE BY HIGH DOSE N2+ IMPLANTATION INTO ALUMINIUM 下载免费PDF全文
Aluminium films with various thickness between 700 nm and 1μm were deposited on Si (100) substrates, and 400 keV N2+ ions with doses ranging from 4.3×1017 to 1.8×1018 N/cm2 were implanted into the alu-minium films on silicon, Rutherford Backscattering (RBS) and channeling, secondary ion mass spectroscopy (SIMS), Fourier transform infrared spectra (FTIR), X-ray diffraction (XRD), transmission electron microscopy (TEM) and spreading resistance probes (SRP) were used to characterize the synthesized aluminium nitride. The experiments showed that when the implantation dose was higher than a critical dose Nc, a buried stoichiometric AlN layer with high resistance was formed, while no apparent AlN XRD peaks in the as-implanted samples were observed; however, there was a strong AlN(100) diffraction peak appearing after annealing at 500 ℃ for 1h. The computer program, Implantation of Reactive Ions into Silicon (IRIS), has been modified and used to simulate the formation of the buried AlN layer as N2+ is implanted into aluminium. We find a good agreement between experimental measurements and IRIS simulation. 相似文献
127.
STUDY ON PREPARATION OF UV CROSS-LINKING FILMS OF POLYURETHANE-LiClO4 COMPLEXES AND THEIR IONIC CONDUCTIVITY 下载免费PDF全文
The complexes of polyurethane containing double bonds with LiClO4 were formed, and cross-linked films were produced by UV radiation, All of the films were uniform, transparent, flexible and smooth-faced with a considerable mechanical strength. The ionic conductivities of the films of several series of polymers with different molecule weights of PEG segment were measured, of which the highest is 8.09×10-5S·cm-1 at 300K under anhydrous atmosphere. Also the conductivity is deeply influenced by the molecule weight of the soft segment PEG of the polyurethane and the content of LiClO4. The transport number of Li+ is about 0.57. Structure characteristic measurement much as DSC, XRD, IR etc., have been done and the conductive mechanism is discussed. 相似文献
128.
129.
130.
利用非等强度、等脉冲相关技术测量甲酚紫染料吸收恢复时间。实验结果给出了甲酚紫染料吸收恢复时间为158ps。 相似文献