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本文采用椭圆偏振光谱法研究了剂量为1×1016—3×1012cm-2的As+注入硅,及其在700℃退火后的光学性质。得出:当As+注入剂量增大到某一程度后,便呈非晶特性。低于临界剂量的样品,其n-λ,ε2-λ关系曲线随剂量的增大而往下方移动,呈有规律变化;退火后,在大于4000?波段,n-λ与ε2-λ曲线基本恢复到单晶硅状态。但在小于4000?的紫外区却未完全恢复,注入剂量越大,偏离单晶硅就越大。并指出,紫外光区是离子注入硅的信息敏感区;用有效质量模型计算出注入剂量与损伤度的关系。计算结果与实验符合得较好。
关键词: 相似文献
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姜德元 《浙江大学学报(理学版)》2003,30(5):499-502
研究了NA序列重对数律收敛速度的一般形式,把Davis和Gut的结果推广到了NA的情形,并使梁汉营等人关于对数律一个结果成为特例;作为推论,得到了关于NA序列重对数律收敛速度的充分条件. 相似文献
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介绍了车用压差式气体流量传感器的结构设计和电测电路,指出了传感器的使用范围,由实验测出了特性曲线.该仪器可检测车用发动机曲轴箱窜气量,适用于发动机不解体故障诊断. 相似文献
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激光等离子体探针及应用研究 总被引:6,自引:1,他引:5
本文介绍用阴影、纹影相干涉方法确定等离子体折射系数变化的原理。分析了等离子体中的非线性效应和对光探测系统的基本要求。并简要叙述了实验上采用的后向喇曼探测束,给出了等离子体干涉、纹影和阴影的测量结果。 相似文献
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根据环形管通道内流体流动和换热的特点,以Kirillov和Smogalev提出的干涸点理论模型假设为基础,从最基本的质量守恒方程出发,并引入临界液膜厚度等相应的辅助模型,得到了双面加热环形通道内流动沸腾干涸点的理论模型。同时针对间隙为1.0mm和1.5mm的环形窄缝进行了低压低质量流速工况下干涸点的实验研究。比较发现理论模型预测值与实验结果基本相符。说明本文提出的理论模型适用于低压低流量条件下的窄环形通道。实验同时发现:环状流临界热流密度在系统压力为2.2MPa达到最大值,临界含汽量随质量流速的增大呈缓慢下降趋势。 相似文献
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基于相对论平均场理论,研究了各种相互作用参数组(NL1、NL3、NLSH、TM1和GL-97)对中子星物质的性质和中子星整体结构的影响.发现参数组NL1、NL3和NLSH所给出的中子星内部的介子场强度、物质的组成比例、物态方程和中子星的整体特点基本相同,但与TM1和GL-97之间有较大的差别.相对于其他参数组,GL-97给出的介子场强度最弱,中子星的相对数密度最大,物态方程也最软,同时采用GL-97参数组计算的中子星的最大质量也最小. 相似文献