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电子束光刻是下一代光刻技术中的有力竞争者,在微纳加工尤其是光刻掩膜制造上具有显著的竞争优势。 开发高性能的光刻胶并优化出最佳的显影条件和工艺是提升电子束光刻效率的基础。 本文在前期开发出的二氧化碳基聚碳酸酯电子束光刻胶的基础上,进一步探究了正性聚碳酸环己撑酯(PCHC)胶的显影条件对电子束光刻性能的影响,具体研究了显影剂以及显影温度和时间等工艺条件,筛选出了最优显影剂正己烷,最佳显影温度0 ℃,最佳显影时间30 s。 在该条件下,PCHC的灵敏度和对比度分别为208 μC/cm2和3.06,并实现了53 nm的分辨率,超过了当下广泛使用的PMMA-950k电子束光刻胶,有望为科研院所和半导体加工车间提供一种性能优异、成本低廉的新型电子束光刻胶。 相似文献
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数学船型是船舶型线的数学表示,在缺乏原型船的条件下可自动生成船舶型线,从而实现数字化设计,满足总体概要设计与虚拟采办的要求.数学船型归为一类特殊的超越方程组.利用分离变量与分层搜索技术,求解超越方程组,并以椭圆形潜艇的型线设计为例,验证了方法的有效性. 相似文献
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提出了一个数学模型,用于研究脉冲投放免疫因子对HBV传染病动力学的影响.通过利用脉冲微分不等式和比较定理,证明了HBV模型的无病周期解的存在性,给出了无病周期解的全局渐近稳定性和系统的持续性的充分条件.研究结果表明:短的投放周期或适当的免疫因子投放量可以导致HBV的清除. 相似文献