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121.
Deposition of Hydrogen-Free Silicon Nitride Thin Films by Microwave ECR plasma Enhanced Magnetron Sputtering at Room Temperature 下载免费PDF全文
Hydrogen-free silicon nitride (SiNx) films were deposited at room temperature by microwave electron cyclotron resonance (MW-ECR) plasma enhanced unbalance magnetron sputtering system. Both Fourier-transform infrared spectroscopy and x-ray photoelectron spectroscopy are used to study the bonding type and the change of bonding structures of the silicon nitride films. The results indicate that the chemical structure and composition of SiNx films deposited by this technique depend strongly on the N2 flow rates, the stoichiometric SiNx film, which has the highest hardness of 22.9 GPa, could be obtained at lower N2 flow rate of 4 sccm. 相似文献
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一种新型桥路型HTSFCL的实验研究 总被引:2,自引:0,他引:2
在研究一种新型桥路型高温超导限流器的限流原理的基础上,研制开发了一台三相600V、故障电流峰值100A的实验室样机.本文介绍了该限流器的功率电路、控制器、低温容器和高温超导磁体等部分的结构特点和功能.在三相系统中进行了各种短路故障限流实验,结果表明该限流器有较强的限流能力和重合闸能力,说明新型高温超导限流器的研究对改善电网动态性能和提高电网电能质量有十分重要的意义. 相似文献
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通过对校飞数据处理方法及实测数据的分析,阐述了飞机姿态测量误差对测量船校飞精度的影响,并针对校飞飞机的姿态测量提出了新的方法。 相似文献
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对数正态分布场合下步进应力加速寿命试验模型和数据分析方法马海训,李彩霞(河北经贸大学050061)关键词:对数正态分布;寿命试验;数据分析AMS(1991)主g分类:65U05假设有n个产品在加速应力水平s;<s。<…<s。下进行定时截尾步进应力加速... 相似文献
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运用自旋回波序列,得到一系列用盐水饱和的多孔岩芯的磁共振自旋密度象,可以直观、准确地观察岩芯的结构,并对象的信号强度与渗透率和孔隙度之间的相关关系进行了分析,发现它们之间存在良好的定性关系,得到了较好的结果. 相似文献
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松香树脂酸乙烯酯合成新方法 总被引:2,自引:0,他引:2
松香树脂酸乙烯酯合成新方法哈成勇袁金伦夏建汉(中国科学院广州化学研究所广州510650)松香树脂酸及其衍生物的乙烯酯是一类含活性乙烯基的物质;歧化松香树脂酸乙烯酯[主要成分为去氢枞酸乙烯酯(简称VDeHA)和二氢枞酸乙烯酯(简称VDiHA)]和马来海... 相似文献
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