Investigation of chlorine-based etchants in wet and dry etching technology for an InP planar Gunn diode

Mesa etching technology is considerably important in the Gunn diode fabrication process. In this paper we fabricate InP Gunn diodes with two different kinds of chlorine-based etchants for the mesa etching for comparative study. We use two chlorine-based etchants, one is HCl-based solution (HCl/H 3 PO 4 ), and the other is Cl 2 -based gas mixture by utilizing inductively coupled plasma system (ICP). The results show that the wet etching (HCl-based) offers low cost and approximately vertical sidewall, whilst ICP system (Cl 2 -based) offers an excellent and uniform vertical sidewall, and the over-etching is tiny on the top and the bottom of mesa. And the fabricated mesas of Gunn diodes have average etching rates of ～ 0.6 μm/min and ～ 1.2 μm/min, respectively. The measured data show that the current of Gunn diode by wet etching is lower than that by ICP, and the former has a higher threshold voltage. It provides a low-cost and reliable method which is potentially applied to the fabrication of chip terahertz sources.     

1-羟基苯并三唑的合成工艺研究

研究了以邻硝基氯苯和水合肼为原料 ,在微正压下采用蒸馏分水工艺合成 1 羟基苯并三唑的工艺过程。讨论了溶剂、原料摩尔比、反应进间、反应温度等因素对反应的影响 ,最适宜操作条件为 :邻硝基氯苯与水合肼的摩尔比为 1∶4、溶剂正庚醇用量是邻硝基氯苯质量的 90 %、反应温度 1 1 8℃、反应时间 5h ,产品收率达 98.7%。     

不同浓度Nb掺杂ZnO第一性原理研究

本文采用基于密度泛函理论的第一性原理计算了不同浓度Nb掺杂ZnO的能带结构及性能,并对本征ZnO、Al掺杂ZnO(AZO)和Nb掺杂ZnO(NZO)的模拟结果进行对比分析。结果表明:(1)NZO和AZO的带隙值均低于本征ZnO的带隙值,掺杂浓度(原子数分数)同为6.25%的NZO的带隙值低于AZO的带隙值。随着Nb掺杂浓度增高,NZO的导带底明显降低,态密度峰值降低,且Nb-4d态电子占据了费米能级的主要量子态。(2)随着掺杂浓度的增加,NZO和AZO吸收峰和介电函数峰均降低,且向低能区移动,其中,NZO吸收峰向低能区移动更明显,且介电函数虚部分别在0.42 eV和34.29 eV出现新的峰,主要是价带中Nb-4d和Nb-5p电子能级跃迁所致。掺杂浓度同为6.25%的NZO的静介电常数大于AZO的静介电常数,表明NZO极化能力更强,NZO可以更有效改善ZnO的光电性能。随着Nb掺杂浓度增加,NZO的吸收系数和介电函数虚部强度增加且向高能区移动。NZO的模拟结果为高价态元素Nb掺杂ZnO的实验研究工作及实际应用提供了理论参考。     

微流池多光程土壤有效态氮磷测定方法研究

农业面源氮磷污染是当前地表水体污染主要来源,而土壤有效态氮磷测试大都依赖于流动分析仪在实验室完成,无法满足个性化土壤有效态氮磷现场测定需求。建立了一种微流池多光程的土壤有效态氮磷测定技术,通过柔性化参数设置,实现不同土壤有效态氮磷测试规范和现场测试。以广东省韶关市农业科学研究所和北京市农林科学院提供的26个样品为例进行有效态铵态氮、硝态氮和磷测定验证。实验结果表明,微流池多光程土壤有效态氮磷测定方法中有效态铵态氮、硝态氮和磷的检出限(LOD)分别为0.0086、0.0094和0.0078 mg/L,相对标准偏差(RSD)分别为0.80%、5.7%和0.90%,加标回收率在92.0%~103%,平均单样品测试时间6 min。测试过程自动化,极大地提升了土壤有效态氮磷测定效率和测试结果准确性,为农业面源污染防治提供技术支撑。     

四通道超稳腔的振动分析及热分析

镱原子光钟是当前稳定度最好的光钟,其稳定度已经进入10?19的量级.依托于高精度的镱原子光钟,可以开展广义相对论的检验以及测地学等领域的科学和应用研究.镱原子光钟研制过程中需要用到多种频率的光,所以针对这些激光的频率控制是镱原子光钟研制的一项关键技术问题.本文针对钟激光以外其他四种激光的频率控制要求,以一个四通道超稳光...     

A2B模型的受迫振动模式研究的注记

讨论了A2B模型的受迫振动模式研究中的一些问题.     

红外波片相位延迟的测试方法及精度分析

通过全面分析光强随波片方位角的变化从中优化出可适用于红外波段的确定波片延迟的方法。此方法只需读取输出光强的最大值和最小值,通过简单运算得到所测波片的相位延迟。以此为理论基础,建立了一套红外波片检测系统,此系统使用元件的数量较少,操作简单,重复性好,易于得到较高的测试精度。此外,从系统光源、光学元件到接收器件等组成部分分析了整个系统中各种误差源对测试精度的影响。结果表明,该系统的检测精度与波片延迟有关,并给出其关系曲线,由该曲线可知,当所测波片的延迟大于40ο时,该系统的仪器相对误差在1%之内,对于常用1/4和1/2波片,仪器相对误差分别为0.2%和0.01%。该检测系统的测试精度在可见和近红外波段基本保持不变。     

垂直歌

垂直问题常碰见 ,线线线面和面面 .彼此转化相勾连 ,相互配合威力显 .异面垂直不难办 ,只要掌握方法三 :定义线面三垂线 .求角求距面垂面 ,线面垂直马当先 .斜线射影三垂线 ,不靠它来怎么办 ?宏观把握面垂面 ,首先形成整体感 .判定性质是线面 ,它为线面做二传 .二面角 ,点面距 ,各有妙法巧计算 :无交线 ,面积办 ,射斜之比是余弦 .无垂线 ,切莫烦 ,三棱锥体积来支援 .改换顶点和底面 ,试一试 ,难不难 .线面垂直是关键 ,别的问题围它转 .面面垂直中转站 ,常为他人做铺垫 .一平一直不算难 ,斜着垂直要细看 ,竖斜斜斜眼要尖 ,正方体里走一圈垂直…     

双核草酸钼的合成与结构

合成了新化合物(N~2H~6)~0~.~5[(CH~3)~4N]{[MoO(H~2O)C~2O~4]~2(μ^2-O)~2}·H~2O,并运用元素分析、红外和单晶X衍射对其结构进行了表征。测定结果证实该化合物有两个共边连接的钼氧八面体,钼原子都是正五价,且有Mo－Mo键存在,每个钼上有一个螯合配位的草酸根。该化合物属单斜晶系P2~1/c,a=0.6059(1)nm,b=1.6658(3)nm,c=1.8249(4)nm,β=94.02(3)°,V=1.8374(6)nm^3,R~1=0.0337,wR~2=0.0908。