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31.
多晶硅表面周期性微结构的激光制备与性能研究
李甜甜
孙耀宁
张丽
王国建
贾天代
冯爱新
《光子学报》
2021,50(4):102-110
为了减小多晶硅表面入射光的反射率,提高太阳能电池的光电效率,利用紫外纳秒激光器在多晶硅表面制备不同深度、不同间距的微凹坑点阵绒面,研究织构形貌对反射率及光电转换效率的影响.通过激光频率的改变实现微凹坑深度的变化,通过微凹坑排布方式的改变实现微凹坑间距的变化;使用光纤光谱仪测量多晶硅表面反射率并通过激光共聚焦显微镜观察微...
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