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厚胶光刻非线性畸变的校正 总被引:3,自引:0,他引:3
利用厚胶光刻技术制作大深度微结构元件是一种有效的途径,但厚胶光刻过程中的非线性畸变对光刻面形质量的严重影响限制了该技术的应用,基于此,提出了一种对掩模透射率函数进行校正的方法。分析空间像形成及其在光刻胶内传递、曝光、显影等过程中非线性因素的影响,利用模拟退火算法对掩模透射率函数进行校正,以提高光刻面形质量,并以凹面柱透镜为例,给出了校正前后的显影轮廓模拟结果,其校正后浮雕面形的体积偏差仅为2.63%。该方法在有效改善面形质量的同时,并没有引起掩模的设计、制作难度及费用增加,这对于设计、制作高质量的微结构元件有重要意义。 相似文献
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引言现有的普通物理实验教材中,对RC、RL和LRC电路暂态过程的描绘,多采取用方波发生器代替直流电源,用示波器观察或用照相法摄取暂态曲线,RC电路的暂态过程,也可以用电压表和秒表逐点测量来描绘曲线。这些方法或只能观察,定量分析不便,或虽能定量分析,但实验过程复杂,效果都不理想。本文介绍用函数记录仪直接描绘RC、RL和LRC电路的暂态过程曲线,实验方法简便,而且利用图象进行定量分析和计算都很方便。 相似文献
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A polarization-maintained coupled optoelectronic oscillator(COEO) with its performance significantly improved by a short-length unpumped erbium-doped fiber(EDF) is reported and experimentally investigated.A 10 GHz optical pulse train with a supermode suppression ratio of 61.8 d B and a 10 GHz radio frequency signal with a sidemode suppression ratio of 94 d B and a phase noise of-121.9 d Bc∕Hz at 10 k Hz offset are simultaneously generated. Thanks to saturable absorption of the 1 m unpumped EDF, which introduces relatively large cavity loss to the undesired modes and noise, the supermode suppression ratio and the phase noise are improved by 9.4 and 7.9 d B, respectively. 相似文献
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