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871.
872.
873.
Characterization of a nano line width reference material based on metrological scanning electron microscope 下载免费PDF全文
The line width (often synonymously used for critical dimension, CD) is a crucial parameter in integrated circuits. To accurately control CD values in manufacturing, a reasonable CD reference material is required to calibrate the corresponding instruments. We develop a new reference material with nominal CDs of 160 nm, 80 nm, and 40 nm. The line features are investigated based on the metrological scanning electron microscope which is developed by the National Institute of Metrology (NIM) in China. Also, we propose a new characterization method for the precise measurement of CD values. After filtering and leveling the intensity profiles, the line features are characterized by the combination model of the Gaussian and Lorentz functions. The left and right edges of CD are automatically extracted with the profile decomposition and k-means algorithm. Then the width of the two edges at the half intensity position is regarded as the standard CD value. Finally, the measurement results are evaluated in terms of the sample, instrument, algorithm, and repeatability. The experiments indicate efficiency of the proposed method which can be easily applied in practice to accurately characterize CDs. 相似文献
874.
为了提高风力机钝尾缘翼型优化设计的精确性,提出设计变量计及尾缘厚度及其在中弧线上侧分配比的非对称钝尾缘翼型优化设计方法。采用风力机翼型型线集成理论和B样条曲线,建立钝尾缘翼型型线控制方程组。以翼型的形状函数系数、B样条控制参数以及钝尾缘厚度和其分配比为设计变量,利用粒子群算法耦合XFOIL软件进行钝尾缘翼型优化设计。针对S812翼型优化得到尾缘厚度2.61%c、厚度分配比0:1的钝尾缘改型,采用计算流体动力学方法研究翼型及其改型的气动性能和流场特性。结果表明:优化得到钝尾缘翼型的升力系数和最大升阻比均显著增大;钝尾缘翼型吸力面的气流在流场中发生下洗,改善了翼型表面压力分布,并引起翼型失速延迟,使得翼型的气动性能明显提高。 相似文献
875.
以二月桂酸二丁基锡(DBTDL)为催化剂,微晶纤维素为骨架材料,二乙二醇正十六烷基醚(E2C16)为相变材料,采用化学接枝法制备了系列纤维素丙酸酯-g-二乙二醇正十六烷基醚(CP-g-E2C16)固-固相变材料.利用傅里叶变换红外光谱(FTIR)、核磁共振氢谱(1H NMR)、差示扫描量热仪(DSC)、热重分析(TG)和X射线衍射(XRD)对CP-g-E2C16相变材料的结构和热性能进行了表征.结果表明,得到了E2C16的取代度和接枝含量分别为0.12~0.37和17.1%~33.4%的CP-g-E2C16固-固相变材料.CP-g-E2C16接枝共聚物的相变温度和相变焓分别为25~34℃和40~62 J/g,符合人的体感舒适温度范围.CP-g-E2C16固-固相变材料的耐热温度高于237℃,与E2C16相比提高21~40℃,有望应用于熔融纺丝法制备纤维素基储热调温纤维领域. 相似文献
876.
设计并制作了一种用于波长信道选择系统的新型柔性悬臂梁电磁驱动光开关,该光开关采用微光机电系统技术制作,由带有平面螺旋形线圈的聚酰亚胺悬臂梁、圆柱形永磁体、基座以及双面反射棱镜组成.通过改变线圈中激励电流的方向来控制开关动作.运用有限元的方法,模拟分析了线圈与永磁体之间电磁力的分布以及悬臂梁回复力、电磁力与挠度的关系.对该光开关的驱动性能进行了测试,实验结果表明:加载较小的工作电流(0.15A),悬臂梁便可以产生较大的挠度(0.925mm),满足波长信道选择系统光路偏转的要求. 相似文献
877.
878.
化归思想是一种重要的思维模式,也是解决数学问题的一种重要的思想方法.所谓化归思想,就是在数学研究中,不妨对原问题换一个方式、一个角度或一种观点考虑,在新的方式、新的角度或新的观点下,有可能会使原问题变得易于解决. 相似文献
879.
We present an imaging approach via sparsity constraint and sparse speckle illumination which can dramatically enhance the optical system's imaging resolution. When the object is illuminated by some sparse speckles and the sparse reconstruction algorithm is utilized to restore the blur image, numerical simulated results demonstrate that the image,whose resolution exceeds the Rayleigh limit, can be stably reconstructed even if the detection signal-to-noise ratio(SNR)is less than 10 d B. Factors affecting the quality of the reconstructed image, such as the coded pattern's sparsity and the detection SNR, are also studied. 相似文献
880.