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以SiCl4和H2为气源,用等离子体增强化学气相沉积技术,在250℃的低温下,研究氢稀释度对多晶硅薄膜结构特性的影响.实验结果表明,对于以SiCl4和H2组成的反应源气体,氢对薄膜生长特性的影响有异于SiH4/H2,在一定功率下,薄膜的晶化率随氢稀释度的减小而增加,在一定的氢稀释度下薄膜晶化度达到最大值85%;随着氢稀释度的继续减小,薄膜晶化度迅速下降,并逐渐向非晶态结构转变.随氢稀释度的减小,薄膜的光学带隙由 1.5eV减小至约1.2eV,而后增大至1.8eV.沉积速率则随氢稀释度的减小先增加后减小,在无氢条件下,无薄膜形成.在最佳氢稀释度条件下,Cl基是促进晶化度提高,晶粒长大的一个主要因素.
关键词:
多晶硅薄膜
微结构
氢稀释
4')" href="#">SiCl4 相似文献
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毒品问题是全世界当局面临的严峻挑战,对缉获样品、生物体液和废水中毒品的快速检测是打击毒品犯罪的重要环节和领域热点.本文提出了多通道深度神经网络结合表面增强拉曼光谱(SERS)快速识别混合毒品的新方法,成功实现对溶液中海洛因(heroin)、氯胺酮(ketamine)、3,4-亚甲二氧基甲基苯丙胺(MDMA)的快速模糊识别.该方法以金纳米颗粒(Au NPs)作为增强基底,利用SERS对毒品进行高灵敏分析,运用深度学习对获得的差异信号进行辨识,从而实现对多种毒品的模糊识别.基于多通道卷积神经网络(CNN)-门控神经单元(GRU)模型可以从原始数据中提取空间与序列的高维分布特征,以99.9%的高准确率分类, 99.6%的准确率半定量,远优于传统CNN模型.该方法为复杂基质中混合毒品的快速模糊识别提供了新途径. 相似文献
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LDPE/CPE/炭黑三相复合导电体系的电学性能 总被引:16,自引:0,他引:16
研究了LDPE/CPE/炭黑三相复合导电体系的导性能和电流-电压特性。实验结果表明复合体系具有明显的导电渗滤效应,在共混比LDPE/CPE>50/50时,导电性能随CPE含量增加而显著提高,这主要是由于炭黑粒子在LDPE和CPE两组分分中的分布不均匀性所致。 相似文献
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非水胶束电动色谱分离邻苯二甲酸酯类化合物 总被引:2,自引:0,他引:2
非水胶束电动色谱(NAMEKC)兼具非水毛细管电泳的优点和胶束电动色谱的分离机制,尤其适于对强疏水性化合物进行分离分析。在以甲酰胺为非水溶剂的电泳介质中,采用十二烷基硫酸钠(SDS)形成胶束相,开展NAMEKC方法的研究。通过添加水溶液、调节水溶液酸度、添加有机溶剂、改变SDS浓度等操作条件的考察,在15 min 内实现了3种美国环保局优先监测的污染物——邻苯二甲酸二甲酯、邻苯二甲酸二乙酯、邻苯二甲酸二丁酯的分离。分离度最小者为1.5,检测限优于3.04 mmol/L(以信噪比为3计)。3种典型的强疏水性物质的成功分离,显示出NAMEKC方法在分离疏水性物质方面的优势,扩展了NAMEKC在电中性有机物分析中的应用。 相似文献
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尼龙11在高压下的结晶研究 总被引:2,自引:0,他引:2
用DSC、WAXD、IR等对在0.1MPa-0.65GPa压力下尼龙11(PA11)的结晶样品进行了研究。分析了压力对PA11结晶的影响。研究了加入1%液晶聚合物对PA11的结晶的诱导作用。结果表明:压力有助于PA11晶形的完善,液晶聚合物对PA11的结晶有明显的诱导作用,使PA11在较低的压力(0.1GPa)和较短的时间(15min)内即可得到较为完整的结晶。 相似文献
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聚甲基乙烯基醚的局部构象 总被引:3,自引:1,他引:2
采用低能构象方法和构象扫描方法,在Dreiding力场下,对含有3种不同侧基取向的PVME的全同二单元体和间同二单元体进行全松弛优化.通过统计平均得到PVME各种构象状态的几何参数和构象能.由统计平均的结果确立了包含侧基所有可能取向信息的PVME链的RIS模型,并利用MontCarlo方法计算了PVME链的特征比,结合实验数据讨论了侧基取向行为的影响. 相似文献