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1.
铝互连线的电迁移问题历来是微电子产业的研究热点,其面临的电迁移可靠性挑战也是芯片制造业最持久和最重要的挑战之一.从20世纪90年代开始,超深亚微米(特征尺寸≤0.18 μm)铝互连技术面临了更加复杂的电迁移可靠性问题.从电迁移理论出发,分析概括了铝互连电迁移问题的研究方法,总结了上世纪至今关于铝互连电迁移问题的主要经验;最后结合已知的结论和目前芯片制造业现状,分析了当前超深亚微米铝互连线电迁移可靠性挑战的原因和表现形式,提出了解决这些问题的总方向.
关键词:
电迁移
铝互连
微结构 相似文献
2.
In this paper, we are concerned with the initial and boundary value problem for the following equations not in divergence form: 相似文献
3.
The microstructure of CosoNi22Ga28 ribbon with the L10 structure is examined. The band-like morphology is observed. These bands with the width in a range of 40-200 nm appear along the transverse direction of the ribbon. The giant magnetoimpedance (GMI) effect in this alloy is measured. The results show that Co5oNi22Ga28 exhibits a sharp peak of the GAI effect. The maximum GAH ratio up to 360% is detected. The GMI effect measured versus temperature shows large jumps of the magnetoimpedance amplitude at the reversal martensitic transformation temperature 240℃ and Curie temperature 375℃C respectively. The jump ratios of the magnetoimpedance amplitude examined at these temperatures are about 5 and 10, respectively. 相似文献
4.
基于一个描述夸克胶子火柱演化的相对论流体力学模型,研究了夸克相、强子相互作用以及非热过程(DrellYan对、粲强子衰变)的中等质量双轻子的产生.发现由于相边对夸克胶子物质演化的影响和RHIC能量核碰撞产生的夸克胶子物质具有高的初始温度,夸克相对双轻子的贡献显著增强,比那些来自强子相互作用的贡献重要,甚至能与来自非热的贡献比较.表明中等质量双轻子的增强是一个在核碰撞中产生了夸克胶子物质的可能信号.
关键词:
夸克-胶子物质
双轻子增强
相对论流体力学模型 相似文献
5.
众所周知,函数exp(-x~2/2)的原函数不能用初等函数来表示,此时,我们说“积不出”。本文在此意义下仅就被积函数中含exp(-x~2/2)的积分进行了讨论。首先考虑积分,然后是积分为多项式),得到了在应用上较为方便的结果。 相似文献
6.
7.
8.
由聚马来酸酐和十八醇合成了一系列不同羧酯比的聚马来酸十八醇酯,并以其为成膜材料,CdCl2水溶液为亚相制备了一系列聚马来酸十八醇酯镉盐LB膜,借助小角X射线衍射和红外吸收光谱表征了成膜条件及羧酯比对CdPMA膜有序结构的影响。在较高膜压和快速提拉条件下,低羧酯比的CdPMA可得到有序性很高的Y-型LB多层膜;高羧酯比的CdPMA得不到高有序性的LB多层膜。 相似文献
9.
D—最优设计的对称性及其对称构造法 总被引:5,自引:0,他引:5
§1.引言 设我们考察一个未知的试验系统,并假定其响应值η与因子向量X及参数向量β具有如下的函数关系其中如进行N次试验,我们便会得到下面的观测值 相似文献
10.
运用一种新的动力学突变检测方法——排列熵(permutation entropy,PE)算法,计算并分析了中国华北地区52个站点1960年—2000年逐日平均气温资料的排列熵演化情况,发现中国华北地区气温在20世纪70年代中期、80年代初均发生了较大突变;进一步用经验模态分解(empirical mode decomposition,EMD)方法对排列熵序列进行逐级平稳化处理,结果发现这一地区的气温突变与准10年这一年代际时间尺度的周期变率密切相关,其原因与太阳黑子活动有着密切联系.
关键词:
华北
突变
排列熵算法
经验模态分解 相似文献