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用低压等离子体增强化学汽相沉积法和氮化硅中间过渡层的方法,在硅片和玻璃上,制备了立方氮化碳薄膜.用光电子能谱测试了其成分和结合能,薄膜含氮量为42.96%.C1s和N1s的结合能分别为285.01和398.60eV.透射电子显微镜研究表明,制备的氮化碳属于体心立方结构,根据衍射花样,计算的晶格常量a为0.536nm,这与理论预言的结果a为0.53973nm很接近.随着沉积的时间增长,还观测到了氮化碳薄膜的菊池花样.在玻璃上沉积的氮化碳薄膜在可见光和近红外区域是透明的,在400nm处有光吸收.
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