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In this paper, a method to fabricate Silicon-on-Nothing (SON) MOSFETs using
H$^{ + }$ and He$^{ + }$ co-implantation is presented. The technique is
compatible with conventional CMOS technology and its feasibility has been
experimentally demonstrated. SON MOSFETs with 50nm gate length have been
fabricated. Compared with the corresponding bulk MOSFETs, the SON MOSFETs
show higher on current, reduced leakage current and lower subthreshold
slope. 相似文献
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研制了以交联苯乙烯—二乙烯基苯共聚物为载体的含氮功能团的固载铑络合物催化剂,得到两种活性较好的螯合型固载铑催化剂,用于醋酸甲酯羰基化制醋酐,其活性均略高于它们相应的均相类似体系。XPS测定表明,固载铑催化剂形成强的N→Rh键,且N/Rh=15时其活性最好。在418~447K范围测得醋酐生成平均速率与温度的关系,求得的表观活化参数(E_a=73.3KJ/mol,△H~≠=66.3KJ/mol,△S~≠=-28.6eu),表明氧化加成参与速控步骤。适当比例的溶剂醋酸对固载铑催化剂高活性是必须的。 相似文献
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同角三角函数的基本关系式有sin^2α+cos^2α=1,tanα=sinaα/cosα.利用它可以求值、化简和证明,要求同学们牢固掌握,并能运用每个关系式及变形式灵活解题,下面就利用同角三角函数的基本关系式进行解题介绍几种方法. 相似文献
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