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41.
铝互连线的电迁移问题及超深亚微米技术下的挑战   总被引:2,自引:0,他引:2       下载免费PDF全文
张文杰  易万兵  吴瑾 《物理学报》2006,55(10):5424-5434
铝互连线的电迁移问题历来是微电子产业的研究热点,其面临的电迁移可靠性挑战也是芯片制造业最持久和最重要的挑战之一.从20世纪90年代开始,超深亚微米(特征尺寸≤0.18 μm)铝互连技术面临了更加复杂的电迁移可靠性问题.从电迁移理论出发,分析概括了铝互连电迁移问题的研究方法,总结了上世纪至今关于铝互连电迁移问题的主要经验;最后结合已知的结论和目前芯片制造业现状,分析了当前超深亚微米铝互连线电迁移可靠性挑战的原因和表现形式,提出了解决这些问题的总方向. 关键词: 电迁移 铝互连 微结构  相似文献   
42.
利用一发散点光源和一束倾斜平行光制作出在两个垂直方向上具有不同焦距的变形全息透镜,且用此全息元件实现了变形分数傅里叶变换。变形全息透镜两个方向上的焦距随全息记录条件和再现条件而变化,分析了用这种全息透镜实现变形分数傅里叶变换的条件。实验表明,用该元件能够方便地实现任意级次的变形分数傅里叶变换。  相似文献   
43.

A two-dimensional, nonlinear, compressible, diabatic, nonhydrostatic photochemical-dynamical gravity wave model has been advanced. The model includes diabetic process produced by photochemistry and the effect of gravity wave on atmospheric chemical species. In the horizontal direction, the pseudospectral method is used. The finite difference approximations are used in vertical direction z and time t. The FICE method is used to solve the model. The model results on small amplitude fluctuation are very close to those of linear theory, which demonstrates the correctness of the model.

  相似文献   
44.
许多实验对用CsI(Tl)闪烁晶体作为探测器来寻找和探测暗物质的可行性进行了研究.本工作利用8MeV单能中子轰击CsI(Tl)晶体探测器来研究Cs核和I核的QuenchingFactor.在数据处理中,运用脉冲形状甄别(PSD)方法来分辨反冲核信号和本底信号.实验结果表明,在7keV到132keV的能区中,Quench ingFactor随着反冲核能量的减少而增加.在探测暗物质的实验中,这一性质对于CsI(Tl)晶体探测器获得较低的能量阈值是很有利的.  相似文献   
45.
直流磁控溅射一步法原位制备MgB2超导薄膜   总被引:6,自引:1,他引:5       下载免费PDF全文
用MgB2靶,控制直流磁控溅射工作在异常辉光放电或弧光放电状态,在SrTiO3衬底上原位一次性得到了MgB2超导薄膜,其起始转变温度为32K,零电阻温度为15K. 关键词: 高温超导体 超导薄膜 磁控溅射 二硼化镁  相似文献   
46.
迈克尔逊干涉仪中补偿板与干涉条纹   总被引:1,自引:0,他引:1  
通过分析缺失补偿板的迈克尔逊干涉仪中的附加光程差,推出干涉条纹满足的方程式,并用计算机模拟了动镜移动过程中变化的干涉条纹,与实验结果相一致.  相似文献   
47.
A new method is introduced to generate a elliptical hollow beam inside a cavity. Using a matrix eigenvalue method, the laser resonator with optical diffraction elements is theoretically analyzed and simulated. A elliptical hollow beam of good quality is realized experimentally. The interaction between linearly polarized elliptical hollow beam and a two-level atom is investigated theoretically. Although the linearly polarized elliptical hollow beam does not carry angular momentum, it can produce very high torque. The atoms initially at rest and located at off-beam- axis positions will rotate under the drive of the torque of the beam. The atomic motion trajectory in the field of elliptical hollow beam has been demonstrated. The study shows that the elliptical hollow beam might be a useful tool in the study of vortex property of Bose-Einstein condensate or ultra cold atom media.  相似文献   
48.
本文采用HNO3-H2O2对中药方剂煎煮液进行处理,拟定了电感耦合等离子体原子发射光谱法同时测定试样中12个微量元素的方法,选择了仪器的最佳工作条件,考察了基本效应的影响。在选定条件下,12个微量元素的检出限为0.10-5.0ng/g,相对标准偏差为0.10%-9.5%(n=10),加标回收率为85%-103%。该方法简单、快速,已用于大量样品的检测,分析结果满意。  相似文献   
49.
扈生彪  马海成 《数学研究》2002,35(3):338-341
给出了线和n-2的n阶(0,1)-矩阵的最大积和式的积分表达式,并证明了该积分表达式与[1]得到的组合表达式等价。  相似文献   
50.
According to an induced-matter approach, Liu and Wesson obtained the rest mass of a typical particle from the reduction of a 5D Klein–Gordon equation to a 4D one. Introducing an extra-dimension momentum operator identified with the rest mass eigenvalue operator, we consider a way to generalize the 4D Dirac equation to 5D. An analogous normal Dirac equation is gained when the generalization reduces to 4D. We find the rest mass of a particle in curved space varies with spacetime coordinates and check this for the case of exact solitonic and cosmological solution of the 5D vacuum gravitational field equations.  相似文献   
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