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利用直流脉冲磁控溅射方法在室温下通过改变O2流量制备具有不同晶体结构的N掺杂TiO2薄膜,利用台阶仪、X射线光电子能谱仪、X射线衍射仪、紫外-可见分光光度计等设备对薄膜沉积速率、化学成分、晶体结构、禁带宽度等进行分析.结果表明:所制备的薄膜元素配比约为TiO1.68±0.06N0.11±0.01,N为替位掺杂,所有样品退火前后均未形成Ti—N相结构,N掺杂TiO2薄膜的沉积速率、晶体结构等主要依赖于O2流量.在O2流量为2 sccm时,N掺杂TiO2薄膜沉积速率相对较高,薄膜为非晶态结构,但薄膜内含有锐钛矿(anatase)和金红石(rutile)相晶核,退火后薄膜呈anatase和rutile相混合结构,禁带宽度仅为2.86 eV.随着O2流量的增加,薄膜沉积速率单调下降,退火后样品禁带宽度逐渐增加.当O2流量为12 sccm时,薄膜为anatase相择优生长,退火后呈anatase相结构,禁带宽度为3.2 eV.综合本实验的分析结果,要在室温条件下制备晶态N掺杂TiO2薄膜,需在高O2流量(>10 sccn)条件下制备.
关键词:
2薄膜')" href="#">N掺杂TiO2薄膜
磁控溅射
化学配比
晶体结构 相似文献
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从80年代中期开始,在许多聚变装置上观察到了用弹丸注入改善的等离子体能量约束。在JET和一些大型托卡马克上实现了弹丸增强约束模(PEP)。PEP模的机制也已在理论上做了分析。分析表明,有多种机制在减小反常输运中起作用,而这些机制的作用依赖于实验的条件。本文将报道在HL-2A装置上无辅助加热条件下的弹丸加料实验结果。该工作的着重点是研究在中心加料欧姆放电中的电子热输运。 相似文献
106.
Non-recycling impurities are injected into ohmic HL-2A plasma for the first time. The impurities of titanium and aluminium are injected in the discharges with varying plasma density and current. The convection and diffusion process of the injected impurity ions during the inward phase are qualitatively investigated. The results show that the transport of impurities is much slower in the central region of the plasma than outside of it and that it is greatly enhanced during sawtooth crashes. 相似文献
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关于复合材料方板对称性的讨论 总被引:10,自引:0,他引:10
采用有限元方法研究复合材料板的面外弯曲,振动及对冲击载荷的动力反应时,经常使用四边简支或四边固定的方板为例,来比较不同有限元方法的精度。为了节省计算工作量,Reddy在计算均布荷载下的复合材料方板(铺 ... 相似文献
110.
回顾了实心弹性薄板优化研究的发展历程。给出了由无限密和无限细的肋骨加强的环板在常肋骨密度时的解析解;采用精确刚度阵的有限元法计算了具有有限根肋骨加强的板的柔顺性,它低于光滑优化解的柔顺性。这些结果进一步说明近期文献中出现的枕头形的光滑解并不是几何受约束实心弹性薄板优化问题的全局最优解。 相似文献