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11.
LPE InAsPSb外延层组分分布的均匀性的研究
王永珍
金长春
《人工晶体学报》
1996,25(1):58-61
本文采用LPE生长技术,分析,研究了降温,恒温两种方法生长的InAsPSb外延层组分分布。实验结果表明,用恒温方法生长的外延层,P、Sb组分分布均匀不变。
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