漂浮法制备SiO2有序大孔材料

用漂浮组装方法以亚微米尺度单分散的聚苯乙烯(PS)微球作为模板, 在悬浮液气-液界面处组装PS模板微球与纳米级胶体颗粒, 形成二元胶体颗粒共混物, 再去除模板得到有序大孔材料.     

Al互连线和Cu互连线的显微结构

利用电子背散射衍射(EBSD)技术，测量了由反应离子刻蚀工艺(RIE)制备的Al互连线和大马士革工艺(Damascene)制备的Cu互连线的显微结构，包括晶粒尺寸、晶体学取向和晶界特征.分析了Cu互连线线宽，及Al和Cu互连线退火工艺对互连线显微结构及电徙动失效的影响.     

熔融法制备纳米管Li-Ti-O化合物及其表征

在熔融的LiNO₃中，以纳米管钛酸钠为母体进行锂-钠离子交换，制得了具有高表面积的纳米管Li-Ti-O化合物(198.6 m²·g^-1)。XRD、XPS、TG表征结果表明: 此纳米管Li-Ti-O化合物包含两种晶型物质, 即立方尖晶石结构的Li₂Ti₂O₄和锐钛矿结构的Li_xTiO₂(x＜0.1)]，Li⁺在这两种晶型物质中的结合能不同；在空气中此纳米管Li-Ti-O化合物具有较强的吸水性，化学吸附水在高于400 ℃时才开始脱附。     

悬浮液气-液界面二元胶体颗粒的漂浮组装机理

提出一种在悬浮液气-液界面漂浮组装亚微米单分散聚苯乙烯(PS)微球和纳米SiO2颗粒二元胶粒晶体的新方法, 并系统研究了漂浮组装机理. 研究表明, 聚苯乙烯微球和二氧化硅两种胶体颗粒在悬浮液气-液界面的漂浮组装是以PS微球的组装为主导的. 在一定PS微球相浓度范围内, 悬浮液中PS 微球与SiO2颗粒的初始体积配比基本不影响PS微球有序组装的形成. PS微球粒径在150-500 nm时易于形成有序排列, 较小或较大粒径的PS微球难以形成有序排列. SiO2颗粒的组装是一种以PS微球为“基底”的沉积过程. 二元胶粒晶体中SiO2颗粒的体积分数由其在混合悬浮液中的相浓度所决定.     

磁控溅射气体团簇源中团簇形成的DSMC研究

利用直接模拟蒙特卡洛方法(DSMC) ,模拟了磁控溅射气体团簇源中Cu+ (Cu-)的含量比例不同的条件下,Cu团簇的尺寸分布。模拟结果表明：随着含量比例的增加,团簇的尺寸分布变窄了,不带电的团簇的比例增加,不带电的铜团簇分布的最大值减小,相应的带正电荷和带负电荷团簇的比例减小;相同的含量比例下,带正电的团簇的尺寸分布与带负电荷的团簇的尺寸分布基本相同;初始Cu- 比Cu+ 的含量比例大时,输出的主要是带负电荷的团簇,带正电荷和不带电的团簇占很小的比例;Cu-含量比例的增加,负Cu团簇的尺寸分布减小。