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针对VO2薄膜在微测辐射热计上的应用,采用射频反应溅射法,在室温下制备氧化钒薄膜;研究了氧分压对薄膜沉积速率、电学性质及成分的影响.通过调节氧分压,先获得成分接近VO2的非晶化薄膜,再在400℃空气中氧化退火,便可制得高电阻温度系数,低电阻率的VO2薄膜,电阻温度系数约为-4%/℃,薄膜方块电阻为R□为100—300kΩ;薄膜在室温下沉积,400℃下退火的制备方法与微机电加工(micro electromechanic
关键词:
二氧化钒
电阻温度系数
氧分压
射频反应溅射法 相似文献
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本文对用C-V法提取SiC隐埋沟道MOSFET沟道载流子浓度的方法进行了理论和实验分析. pn结的存在所造成的埋沟MOS结构C-V曲线的畸变为沟道载流子浓度的提取带来一些问题. SiC/SiO2界面上界面态的存在也会使提取出的数值与实际数值产生偏差. 本文首先从理论上分别分析了沟道深度和界面态对沟道载流子浓度提取结果的影响,然后对两种沟道深度的埋沟MOS结构C-V曲线进行了测试,提取出了沟道掺杂浓度. 在测试中,采用不同的扫描速率,分析了界面态对提取结果的影响. 理论分析结果和实验测
关键词:
C-V法
SiC
隐埋沟道MOSFET
沟道载流子浓度 相似文献
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Guofen Yu Yuanci Gao Shenggang Liu Wenxiang Wang Jin Wu 《International Journal of Infrared and Millimeter Waves》2002,23(8):1261-1269
Analysis of the field distributions in a single biological cell under electromagnetic wave is given. With Debye approximation, the dielectric relaxation of each part of the cell, including the extracellular and cellular media, the cell membrane and the nuclear membrane, was taken into account. Making use of some typical parameters for a cell, the voltage across nuclear and cytoplasma membranes under electromagnetic waves are calculated up to millimeter wave frequency range. The calculated result indicates that it is unlikely to generate electroporation by present available millimeter wave sources. 相似文献
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The procedure of microphase adsorption–spectral correction is applied to the interaction of eosine Y (EO) to the micelles of cetyl trimethyl ammonium bromide (CTAB). The Langmuir aggregation of EO on CTAB occurs owing to microelectrostatic attraction. The results have shown that at pH 3.8, monomeric and micellar aggregates have the structure EO5·CTAB2 and (EO5·CTAB2)39. The adsorption constant of an aggregate is 7.01·105, its molar absorption coefficient is = 8.8·104 liters·mole–1·cm–1 at 550 nm. Application of the aggregation of EO on CTAB gives satisfactory results for quantitative determination of cation surfaceactive agents (surfactants). 相似文献
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Improved detection of time windows of brain responses in fMRI using modified temporal clustering analysis 总被引:8,自引:0,他引:8
Temporal clustering analysis (TCA) has been proposed recently as a method to detect time windows of brain responses in functional MRI (fMRI) studies when the timing and location of the activation are completely unknown. Modifications to the TCA technique are introduced in this report to further improve the sensitivity in detecting brain activation. The modified TCA is based on the integrated signal intensity of a temporal cluster at each time point, while the original TCA is based only on the size of a temporal cluster at each time point. A temporal cluster at each time point is defined, in both TCA methods, as a group of pixels reaching their maximum (or minimum) values at the same time. Both computer simulation and in vivo fMRI experiments have been performed. Compared with the original TCA, the modified TCA shows a significant improvement in the sensitivity to detect activation peaks for determining time windows of brain responses. 相似文献
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云南甘草中齐墩果烷型五环三萜化合物的NMR谱的研究 总被引:1,自引:1,他引:1
本文研究了云南甘草皂甙元(glyyunnansapogenin)等oleanane类化合物的核磁共振谱。运用PBB,INEPT,DEPT方法,并结合化学位移值规律归属了这些化合物的13C-NMR信号。总结出用角甲基的化学位移植范围判定角甲基的取代位置的方法,分析了角甲基被氧取代后对环的化学位移值的影响。按类似olean-12-en,18α-H方式考虑,归属了oleana-11,13(18)-diene化合物的13C-NMR信号。讨论了具30→18β内酯或2929→18α内酯类化合物的核磁谱规律。另外,还发现了DE环上有1个OAC取代时,与其偕碳质子的化学位移值规律。 相似文献