1:1分步亚微米光刻镜头

本文介绍一个数值孔径0.4、视场10×10mm~2可用于1:1分步投影光刻机的镜头的光学设计及其模型实验结果.光学设计在Wynne-Dyson的1:1折反式系统的基础上,对该系统作了某些改变.实验结果表明,该镜头具有亚微米的光刻分辨率.     

H_2辉光放电清洗时轰击器壁的离子能量测量与分析

一、引言 辉光放电是清洗锻炼环流器真空室器壁的有效手段。H_2辉光放电时,氢离子轰击器壁与器壁中的C和O发生化学反应,生成CH_4,H_2O等气体;同时,这些离子提供能量使得吸附在器壁表面的杂质气体脱附,从而被泵出真空室外,达到清洗锻炼的目的。由于辉光放电时,离子轰击的能量较高,会引起一定的溅射沉积。我们在模拟真空室(六通装置)进行了辉光放电,对各种参数下的离子能量进行了测量,从中找出了离子能量与极间电压(阳极与器壁之间的电压)、放电电流、以及气压、离子流密度之间的某些关系。     

HL-1装置硬x射线辐射剂量测量

一、引言 多年来,从事受控核聚变的研究人员相继对环形磁约束装置的硬X射线辐射做了许多深入的实验研究,因为逃逸电子是高温等离子体的必然产物,通过逃逸电子产物——硬X射线的研究,便可得知等离子体的行为。但是,装置的硬X射线辐射剂量却直接影响到周围环境及工作人员的身体健康。高能X射线通过物质时,主要以光电效应,康普顿散射和电子对效应损失能量,进入生物组织后,X射线能量在其中转移、吸收乃至最终导致组织损伤。随着实验的进展,人们对硬X射线辐射剂量日益关心。为此,1987年,我们在HL-1装置实验运行期间(近旁的电子回旋共振加热系统未投入工作),测量了装置的硬X射线辐射剂量。     

爆炸推进层靶的理论模型

本文通过对爆炸推进层靶的一系列实验结果的分析,提出了一个简化的理论模型,并介绍了估计DT压缩比、离子温度、热核反应约束时间及中子产额的某些方法。在中子产额大于10~6时,计算结果与实验测置值在2—3倍之内符合。     

外场中DLA集团标度性质的解析研究

我们利用“连续化近似”的平均场理论,详细研究了在不同外场作用下DLA集团的标度性质。发现对常值外场,集团密度ρ初始时按1/r变化,然后过渡到一个常数值;而对1/r^α类型的外场。当控制参数α变化时,生长集团表现出非常复杂的、非平庸的标度行为。 关键词：     

聚氨酯离聚体微畴体积的研究

本文用聚氨酯离聚体材料作X射线小角度散射实验,同时还作了正电子湮没及比重法测量材料密度的辅助实验,以研究聚氨酯离聚体微畴体积随金属离子价改变。实验结果表明,随着金属离子价数的增加,反离子半径增大,微畴的体积增大,致使材料的密度增大,自由体积相应减小。 关键词：     

激光驱动高压冲击波的实验观察

本文介绍能量约500J,脉宽约1.2ns的高功率激光脉冲聚焦辐照铝箔靶或铝台阶靶,用可见光超快速扫描相机观察靶背面冲击加热发光的情况。实验表明,采用特别的组合透镜聚焦,使激光冲击波的平面性得到明显的改善。实验测得铝台阶中的冲击波速度为17.6μm/ns,并推算出相应的冲击波压力达4.4Mbar。 关键词：     

退火对W/C周期性多层膜X射线衍射性能的影响

对W/C周期性多层膜的退火行为进行了精密X射线衍射测量,引入折射率修正,准确计算了多层膜的周期。观测到退火过程中多层膜周期变大的现象,同时二、三级Bragg衍射强度增大。用C层的密度下降对这些现象进行了解释。 关键词：     

钠蒸汽中通过四波参量过程产生紫外相干辐射的光谱特性

本文报告在钠蒸汽中,通过四波参量过程在327nm,328nm,330nm及333nm处得到紫外相干辐射及对它们光谱特性的研究结果。其中333nm信号的可调谐范围较宽,是一可能应用的紫外相干光源。 关键词：     

H3+立体化学结构的测量

本文报道了用“库仑爆炸”技术对H₃⁺分子离子的立体化学结构测量。实验表明:H₃⁺的结构为正三角形,其最可几质子间距的平均值为0.98±0.03?。文中还介绍了我们的高分辨实验装置。 关键词：