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为提高高功率垂直腔面发射激光器(VCSEL)光电性能,对氧化限制型高功率VCSEL湿法腐蚀工艺进行了实验研究。实验中采用H3PO4系溶液替代以往制备此类器件常用的H2SO4系溶液作为高功率VCSEL外延片的腐蚀液,利用扫描电镜(SEM)研究了腐蚀后外延片氧化窗口的腐蚀形貌变化与腐蚀液浓度的关系,消除了以往采用H2SO4系溶液腐蚀时,高功率VCSEL氧化层侧壁出现的"燕尾"结构;通过改变湿法腐蚀工艺的外部温度条件和腐蚀液的浓度配比,实验研究了高功率VCSEL湿法腐蚀速率规律,最后得出了制备高功率VCSEL时湿法腐蚀工艺的最佳外部温度条件与腐蚀液的最佳浓度配比。 相似文献
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莫晓虎 张建勇 张清江 Achasov Mikhail 蔡啸 傅成栋 Harris Fred 刘倩 Muchnoi Nikolay 秦庆 屈化民 王贻芳 徐金强 张天保 《中国物理 C》2011,35(7):642-655
Understanding the radiation background at the north crossing point (NCP) in the tunnel of BEPCII is crucial for the performance safety of the High Purity Germanium (HPGe) detector, and in turn of great significance for long-term stable running of the energy measurement system. Therefore, as the first step, a NaI(Tl) detector is constructed to continuously measure the radiation level of photons as background for future experiments. Furthermore, gamma and neutron dosimeters are utilized to explore the radiation distribution in the vicinity of the NCP where the HPGe detector will be located. Synthesizing all obtained information, the shielding for neutron irradiation is studied based on model-dependent theoretical analysis. 相似文献
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Effect of Pretreatment of TaN Substrates on Atomic Layer Deposition Growth of Ru Thin Films 下载免费PDF全文
The polycrystalline ruthenium films are grown on TaN substrates by atomic layer deposition (ALD) using bis(cyclopentadienyl) ruthenium [RuCp2] and oxygen as ruthenium precursor and reactant respectively at a deposition temperature of 330℃. The low-energy Ar ion bombardment and Ru pre-deposition are performed to the underlying TaN substrates before ALD process in order to improve the Ru nucleation. X-ray diffraction, x-ray photoelectron spectroscopy, scanning electron microscopy and atomic force microscopy are carried out to characterize the properties of ALD Ru films. The results show that the nucleation density of Ru films with Ar^+ bombardment to the underlying TaN substrates is much higher than that of the ones without any pretreatment. The possible reasons are discussed. 相似文献
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We have observed strong scattering of a probe light by dilute Bose-Einstein condensate (BEC) ^87Rb gas in a tight magnetic trap. The scattering light forms fringes at the image plane. It is found that we can infer the real size of the condensation and the number of the atoms by modelling the imaging system. We present a quantitative calculation of light scattering by the condensed atoms. The calculation shows that the experimental results agree well with the prediction of the generalized diffraction theory, and thus we can directly observe the phase transition of BEC in a tight trap. 相似文献
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脉动热管的毛细管结构和尺度效应实验研究 总被引:3,自引:0,他引:3
脉动热管的毛细管结构变化如何影响其性能是研究者关注的问题.本文对毛细管截面为正方形和正三角形,水力直径范围为1 mm左右的回路型脉动热管的传热性能进行了实验研究.结果表明,角管脉动热管的倾角变化时,底加热明显优于顶加热;三角形截面脉动热管的热阻比正方形截面脉动热管的热阻更低.脉动热管在水力直径为1.5 mm时比1mm时的性能要好.实验研究为理论分析打下了基础. 相似文献
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采用硝酸铁、硝酸锰作为主要氧化剂,油相作为可燃剂研制成两种不同氧平衡的乳化炸药,均成功地爆轰合成了纳米MnFe2O4粉体。用XRD表征粉末的物相结构,并比较了此两种不同氧平衡炸药所得产物成分的区别。根据DSC和XRD结果,分别在200 ℃(1 h)、260 ℃(1 h)、280 ℃(1 h)、360 ℃(40 min)和500 ℃(1 h)下对产物进行热处理,在280 ℃时得到了纯净的纳米MnFe2O4颗粒,并用TEM对其形貌进行了观察。实验结果表明,负氧平衡炸药的爆轰产物成分比零氧平衡炸药的爆轰产物相对纯净,280 ℃是一个合适的热处理温度。爆轰法具有合成方便快捷、后期热处理简单的优点。 相似文献