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A method for calculating the parameters of formation of vacancies in crystals formed by spherically symmetrical atoms was developed. Both quantum effects at low temperatures and the possibility of the delocalization of atoms at high temperatures were studied. The parameters of formation of vacancies in carbon subgroup element crystals C-diam, Si, Ge, α-Sn, and Pb were calculated. The inclusion of the delocalization of atoms was shown to increase the enthalpy, entropy, and volume of vacancy formation. At low temperatures, the parameters of vacancy formation were found to depend strongly on the temperature, and the entropy of vacancy formation became negative. At high temperatures, close agreement with experimental data and theoretical estimates reported by other authors was obtained. The temperature dependence of vacancy parameters was studied for diamond heated isobarically from 100 to 4500 K. The applicability scope of the Arrhenius equation with a temperature-independent activation energy is discussed. The validity of the “compensation rule” (correlation between the entropy and enthalpy of vacancy formation) was demonstrated. It was also shown that the volume and entropy of vacancy formation were correlated over the whole temperature range studied.
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