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用斜坡电压法(Voltage Ramp, V-ramp)评价了0.18μm双栅极 CMOS工艺栅极氧化膜击穿电量(Charge to Breakdown, Qbd)和击穿电压(Voltage to Breakdown, Vbd). 研究结果表明,低压器件(1.8V)的栅极氧化膜(薄氧)p型衬底MOS电容和N型衬底电容的击穿电量值相差较小,而高压器件(3.3V)栅极氧化膜(厚氧)p衬底MOS电容和n衬底MOS电容的击穿电量值相差较大,击穿电压测试值也发现与击穿电量
关键词:
薄氧
可靠性
击穿电压
击穿电量 相似文献
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利用傅里叶光学方法,建立了一个基于远场的多束超短脉冲相干合成的理论模型。研究了一个口径为50 cm,脉宽为1 ps的超短脉冲相干合成系统的各种误差对脉冲远场时域和空域特性的影响。结果表明:若要求远场的一倍衍射极限区域的积分能量分布达到理想情况下的90%,该系统的相位延迟误差小于0.63,沿x方向角度误差小于0.37 μrad,沿y方向角度误差小于0.34 μrad;若要求远场叠加脉冲的时域展宽小于25%,系统的剩余啁啾因子应小于1.32(不考虑相位延迟)或1.52(考虑0.63的相位延迟)。 相似文献
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Jun Hua YU Xue Song WANG Bao Wen ZHANG* Yi CAO Technical Institute of Physics Chemistry Chinese Academy of Sciences Beijing 《中国化学快报》2002,13(10)
Porphyrin derivatives attract much more interest in photodynamic therapy (PDT). Their importance as therapeutic drugs and targeting agents has been widely recognized1, and many of the efforts have been put towards crafting new porphyrin-based molecular entities to achieve enhanced tumor localization, better tissue penetration and increased singlet oxygen quantum yield2. The states of porphyrins in tissue models such as micelles, lipid bilayers are extensively investigated focusing more or l… 相似文献
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建立光学投影层析三维成像系统,该系统包括光学成像、图像采集、断层重建及三维显示,重建算法为滤波反投影算法.实验结果表明:利用该系统得到的重建图像与样品的形状吻合,重建结果边缘清晰,伪迹较小. 相似文献
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Xinjian Yi Sihai Chen Yingrui Wang Bifeng Xiong Hongchen Wang 《International Journal of Infrared and Millimeter Waves》2002,23(12):1699-1704
V02-based thin film materials on silicon substrates are fabricated by ion beam sputtering and a post-annealing which is different from the conventional fabricating method. An infrared linear microbolometer array with 128 pixels is prepared using as-deposited vanadium dioxide thin films. Optical and electrical properties for V02-based microbolometer array are tested. 相似文献
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