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52.
为提高微晶硅薄膜的纵向结晶性能, 在甚高频等离子体增强化学气相沉积技术的基础上, 采用过渡参数缓变和两步法相结合的方法在普通玻璃衬底上高速沉积薄膜. 当功率密度为2.1 W/cm2, 硅烷浓度在6%和9.6%之间变化时, 从薄膜方向和玻璃方向测算的Raman晶化率的差异维持在2%以内. 硅烷浓度为9.6%时, 薄膜沉积速率可达3.43 nm/s, 从薄膜方向和玻璃方向测算的Raman晶化率分别为50%和48%, 差异的相对值仅为4.0%. 合理控制过渡阶段的参数变化, 可使两个方向的Raman晶化率差值下降到一个百分点. 表明采用新方法制备薄膜, 不仅可以抑制非晶孵化层的形成, 改善微晶硅薄膜的纵向结构, 还为制备优质薄膜提供了较宽的参数变化空间.
关键词:
微晶硅薄膜
非晶孵化层
高速沉积
甚高频等离子体增强化学气相沉积 相似文献
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Hydrogen storage material has been much developed recently because of its potential for proton exchange membrane (PEM) fuel cell applications. A successful solid-state reversible storage material should meet the requirements of high storage capacity, suitable thermodynamic properties, and fast adsorption and desorption kinetics. Complex hydrides, including boron hydride and alanate, ammonia borane, metal organic frameworks (MOFs), covalent organic frameworks (COFs) and zeolitic imidazolate frameworks (ZIFs), are remarkable hydrogen storage materials because of their advantages of high energy density and safety. This feature article focuses mainly on the thermodynamics and kinetics of these hydrogen storage materials in the past few years. 相似文献
54.
C. Wang H. Q. Ma R. Z. Jiao Y. Zhang 《The European Physical Journal D - Atomic, Molecular, Optical and Plasma Physics》2011,64(2-3):573-578
This article indicates an improved protocol of quantum repeaters through the scheme of nest entanglement purification [Phys. Rev. Lett. 81, 5932 (1998)]. The hyperentangled photon pairs are utilized to overcome the limitations of long distance quantum communication via noisy channels. In addition, it is mentioned that if there are imperfect quantum operations and noises in realistic communication, the fidelities of hyperentangled quantum channels will be improved compared with the traditional entangled states. 相似文献
55.
56.
Reflection filters have various applications in optical communication and other systems.In this letter,we propose a narrowband high-reflection filter composed of dielectric and metallic layers,in which an optimized filter combined with an admittance-matching layer with broad stop band is achieved.The structure can be expressed as Sub | (HL)13H2L(HL)313Cr0.84H | air,with full-width at half-maximum (FWHM) bandwidth of 2.5 nm.Based on this structure,reflection filters with multi-peaks are presented,and the law of distribution of peak positions is drawn. 相似文献
57.
10.6μm激光诱导扩散中热致破坏的抑制 总被引:2,自引:0,他引:2
在半导体激光诱导扩散实验中,用连续波CO2 10.6μm激光聚焦后照射基片表面。为实现局部区域的选择扩散,激光光斑半径仅数十微米。要使曝光区温度达到扩散实验要求,必须使曝光区功率密度很高。另一方面,Si、InP等半导体材料对10.6μm波长激光的吸收系数随温度的升高而增大,这导致实验时容易产生热致破坏,损伤基片。在分析热致破坏的产生机理后,提出了在聚焦激光束照射下,曝光区温度的数值计算方法。计算结果表明,在半导体基片初始温度为室温时,以恒定功率的激光束照射基片,曝光区温度不能稳定在扩散试验需要的温度范围。在此基础上,提出了预热基片及对曝光区温度进行实时控制等抑制热致破坏的方法,有效地克服了这一困难。这对于用激光微细加工制作出高性能的单片光电集成电路(OEICs)器件有重要意义。 相似文献
58.
Using Langevin simulations, we have investigated numerically the depinning dynamics of driven two-dimensional colloids subject to the randomly distributed point-like pinning centres. With increasing strength of pinning, we find a crossover from elastic to plastic depinnings, accompanied by an order to disorder transition of state and a substantial increase in the depinning force. In the elastic regime, no peaks are found in the differential curves of the velocity-force dependence (VFD) and the transverse motion is almost none. In addition, the scaling relationship between velocity and force is found to be valid above depinning. However, when one enters the plastic regime, a peak appears in the differential curves of VFD and transverse diffusion occurs above depinning. Furthermore, history dependence is found in the plastic regime. 相似文献
59.
微孔激光器作为应用于近场光信息存储系统中的一种新型光源,它的出射光斑的近场特性对于近场光存储是十分重要的。针对纳米孔径运用角谱进行Fox-Li数值迭代,得到不同孔径微孔激光器的基模光强分布,然后运用二维非线性时域有限差分法分析微孔激光器出射端即微孔金属膜的近场光学性质,模拟计算了不同孔径和厚度的微孔金属膜的光强近场分布,从应用于近场光存储的角度,给出反映其近场光学特性的相关数据。发现由于TM模式下金属存在局域表面等离子增强效应,使得其出射强度比TE模式高一个数量级,从而更适于作为实际中近场光存储系统和原理试验的光学头。 相似文献
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