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111.
铝互连线的电迁移问题及超深亚微米技术下的挑战   总被引:2,自引:0,他引:2       下载免费PDF全文
张文杰  易万兵  吴瑾 《物理学报》2006,55(10):5424-5434
铝互连线的电迁移问题历来是微电子产业的研究热点,其面临的电迁移可靠性挑战也是芯片制造业最持久和最重要的挑战之一.从20世纪90年代开始,超深亚微米(特征尺寸≤0.18 μm)铝互连技术面临了更加复杂的电迁移可靠性问题.从电迁移理论出发,分析概括了铝互连电迁移问题的研究方法,总结了上世纪至今关于铝互连电迁移问题的主要经验;最后结合已知的结论和目前芯片制造业现状,分析了当前超深亚微米铝互连线电迁移可靠性挑战的原因和表现形式,提出了解决这些问题的总方向. 关键词: 电迁移 铝互连 微结构  相似文献   
112.
利用一发散点光源和一束倾斜平行光制作出在两个垂直方向上具有不同焦距的变形全息透镜,且用此全息元件实现了变形分数傅里叶变换。变形全息透镜两个方向上的焦距随全息记录条件和再现条件而变化,分析了用这种全息透镜实现变形分数傅里叶变换的条件。实验表明,用该元件能够方便地实现任意级次的变形分数傅里叶变换。  相似文献   
113.
许多实验对用CsI(Tl)闪烁晶体作为探测器来寻找和探测暗物质的可行性进行了研究.本工作利用8MeV单能中子轰击CsI(Tl)晶体探测器来研究Cs核和I核的QuenchingFactor.在数据处理中,运用脉冲形状甄别(PSD)方法来分辨反冲核信号和本底信号.实验结果表明,在7keV到132keV的能区中,Quench ingFactor随着反冲核能量的减少而增加.在探测暗物质的实验中,这一性质对于CsI(Tl)晶体探测器获得较低的能量阈值是很有利的.  相似文献   
114.
大学物理实验中分类教学的探索和研究   总被引:5,自引:0,他引:5  
本文对大学物理实验课程的教学现状进行了分析,提出了对大学物理实验课程进行分类教学改革的指导思想和遵循的原则及采取的措施。  相似文献   
115.
迈克尔逊干涉仪中补偿板与干涉条纹   总被引:1,自引:0,他引:1  
通过分析缺失补偿板的迈克尔逊干涉仪中的附加光程差,推出干涉条纹满足的方程式,并用计算机模拟了动镜移动过程中变化的干涉条纹,与实验结果相一致.  相似文献   
116.
The present paper devotes to the long-time behavior of a class of reaction diffusion equations with delays under Dirichlet boundary conditions. The stability and global attractability for the zero solution are provided, and the existence, stability and attractability for the positive stationary solution are also obtained.  相似文献   
117.
本文采用HNO3-H2O2对中药方剂煎煮液进行处理,拟定了电感耦合等离子体原子发射光谱法同时测定试样中12个微量元素的方法,选择了仪器的最佳工作条件,考察了基本效应的影响。在选定条件下,12个微量元素的检出限为0.10-5.0ng/g,相对标准偏差为0.10%-9.5%(n=10),加标回收率为85%-103%。该方法简单、快速,已用于大量样品的检测,分析结果满意。  相似文献   
118.
若干图类的邻强边染色   总被引:4,自引:0,他引:4  
研究了若干图类的邻强边染色 .利用在图中添加辅助点和边的方法 ,构造性的证明了对于完全图 Kn和路 Lm 的笛卡尔积图 Kn× Lm,有χ′as(Kn× Lm) =△ (Kn× Lm) +1 ,其中△ (Kn× Lm)和χ′as(Kn× Lm)分别表示图 Kn× Lm的最大度和邻强边色数 .同理验证了 n阶完全图 Kn的广义图 K(n,m)满足邻强边染色猜想 .  相似文献   
119.
Analysis of the field distributions in a single biological cell under electromagnetic wave is given. With Debye approximation, the dielectric relaxation of each part of the cell, including the extracellular and cellular media, the cell membrane and the nuclear membrane, was taken into account. Making use of some typical parameters for a cell, the voltage across nuclear and cytoplasma membranes under electromagnetic waves are calculated up to millimeter wave frequency range. The calculated result indicates that it is unlikely to generate electroporation by present available millimeter wave sources.  相似文献   
120.
A design of diode-pumped high-efficiency Nd:YVO4/LBO red laser is reported. Using critical phase-matching (CPM) LBO, 671 nm red laser was obtained from 1342 nm light by intracavity frequency doubling. With an incident pump laser of 800 mW, using type-I and type-II CPM LBO, 97 and 52 mWTEM00 mode red laser outputs were obtained, with optical-to-optical conversion efficiencies of up to 12.1% and 6.5%, respectively.  相似文献   
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