Quantitative electron probe microanalysis: Uncertainty in the atomic number correction

Summary The atomic number effect in quantitative electron probe microanalysis has been considered from the point of view of error propagation. The results indicate that the chief causes of analysis uncertainty are poorly known electron backscattering factors and mean ionization potential values. Operating variables such as working voltage or X-ray take-off angle cannot be manipulated so as to reduce the effect of the uncertainties. However, the overall analysis uncertainty remains nearly constant over the entire range of working voltages practical for microanalysis.

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Zusammenfassung Der Atomnummerneffekt bei der quantitativen Elektronenstrahlmikroanalyse wurde im Hinblick auf seinen Beitrag zum Analysenfehler untersucht. Danach ist die Hauptursache für den Fehler die Ungenauigkeit der Rückstreufaktoren und der mittleren Ionisationspotentiale. Die Arbeitsbedingungen, wie Abnahmewinkel der Röntgenstrahlung oder Beschleunigungsspannung, können nicht so gewählt werden, daß diese Ungenauigkeit verringert wird. Der gesamte Analysenfehler bleibt jedoch fast über den ganzen für die Elektronenstrahlmikroanalyse üblichen Bereich der Anregungsspannung konstant.

     

Zur Planarität vonKT-Fastkörpern

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