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101.
102.
针对在未做隔离保护处理的环境中,基于Michelson干涉原理的激光干涉仪测量系统存在严重的干扰误差,不适合分步式压印光刻纳米级对准测量的要求.采用Edlen公式的分析及计算,不仅在理论上揭示出环境温度、湿度、气压等变化对激光干涉仪测量准确度的影响,而且证明影响测量准确度的最大干扰源是空气流动的结果.通过气流隔离措施和系统测量反馈校正控制器,能够实时补偿激光干涉仪两路信号的相差.最终,测量漂移误差在10 min内由13 nm降低到5 nm以内,满足压印光刻在100 mm行程中达到20 nm定位准确度要求. 相似文献
103.
压印光刻中套刻需要粗、精两级对正.实验采用一对斜纹结构光栅作为对正标记.利用物镜组观察光栅标记图像的边界特征进行粗对正,其准确度在精对正信号的捕捉范围内;利用光电接收器件阵列组合接收光栅莫尔信号,在莫尔信号的线区进行精对正.由于线性区的斜率大, 精对正过程中得到相应x,y方向的对正误差信号灵敏度高,利用高灵敏度对正误差信号作为控制系统的驱动信号,对承片台进行驱动定位,实现精对正.最终使X,Y方向上的重复对正准确度分别达到了± 21 nm(± 3σ)和±24 nm(± 3σ). 相似文献
104.
采用Agilent 81910A光子全参量测试仪,首次实验研究了InP/In1-xGaxAs1-yPy-MQW(Multiple-Quantum-Well,MQW)材料与衬底间因应力而产生的M-Z型光调制器的PDL影响以及由此引起的由差分群时延(Differential Group Delay,DGD)表征的偏振模色散(Polarization Mode Dispersion,PMD).研究结果表明,半导体MQW光调制器的PDL与DGD是一致的.因此在半导体光器件的制作过程中,应尽可能地减小衬底与波导芯层之间的因残存应力的存在造成对光器件的高速性能的不利影响. 相似文献
105.
S. Ding X. Zhang Q. Wang F. Su S. Li S. Fan S. Zhang J. Chang S. Wang Y. Liu 《Applied physics. B, Lasers and optics》2006,85(1):89-95
The rate equation model of an extracavity Raman laser is deduced for the first time to the best knowledge of the authors. The normalized radiation transfer equations of the extracavity Raman laser are given. The normalized radiation transfer equations and rate equations were solved numerically to find the optimum reflectivity of the output coupler to realize the maximum conversion efficiency at the first Stokes for both the single and double-pass pumping configurations. Also, the pulse duration of the first Stokes was investigated numerically. The rate equations are verified to be a good approximation to the radiation transfer equations for the regime of low Raman gain and long pump pulse duration. Furthermore, it is found that the optimum reflectivity of the first Stokes and the second Stokes threshold are influenced significantly by the minor feedback of the resonator mirror at the second Stokes. PACS 42.55 42.55.Ye; 42.65 42.65.Dr; 02.60 02.60.Lj; 63.20 63.20.-e 相似文献
106.
D. G. Middleton J. R. M. Annand C. Barbieri P. Barneo P. Bartsch D. Baumann J. Bermuth D. Bosnar H. P. Blok R. Böhm M. Ding M. O. Distler D. Elsner J. Friedrich C. Giusti D. I. Glazier P. Grabmayr S. Grözinger T. Hehl J. Heim W. H. A Hesselink E. Jans F. Klein M. Kohl L. Lapikás I. J. D. MacGregor I. Martin J. C. McGeorge H. Merkel P. Merle F. Moschini U. Müller Th. Pospischil G. Rosner H. Schmieden M. Seimetz A. Süle H. de Vries Th. Walcher D. P. Watts M. Weis B. Zihlmann 《The European Physical Journal A - Hadrons and Nuclei》2006,30(2):469-469
107.
108.
通过固相反应法制备了Er3+/Yb3+共掺杂ZrO2-Al2O3粉末的样品,并对样品在980nm激光激发下的上转换发光特性进行了研究.从发射光谱可以发现,在可见光范围内有3个强的发光带,一个位于654nm附近的红光带和两个分别位于545nm、525nm附近的绿光带,分别对应于Er3+离子的以下辐射跃迁:4F9/2→4I15/2、4S3/2→4I15/2、2H11/2→4I15/2.其中又以Er3+离子的4F9/2→4I15/2跃迁产生的红色荧光辐射最强.对其上转换发光机制进行了分析,发现这三个发光过程都是双光子过程.对样品粉末进行了XRD检测,发现ZrO2主要以立方相为主,并且计算得到了这种立方结构的晶格常数.Al2O3固溶于ZrO2中,Al3+嵌入ZrO2后产生氧空位,导致ZrO2晶体的对称性降低,这种结构变化更有利于提高上转换效率,即上转换发光强度增强. 相似文献
109.
The dynamics of the femtosecond pulse propagation in a plasma channel is investigated by the pumpprobe longitudinal diffractometry and second harmonic generation frequency-resolved optical gating (SHGFROG) technique. The spatial characteristics, corresponding to the electronic density and the size of the channel, can be observed by the recorded ring pattern, and the spectral and temporal characteristics are recorded by the SHG-FROG traces. The spatiotemporal characteristics will help us to better understand the dynamics of the plasma induced by the femtosecond pulse and the femtosecond pulse propagating in the plasma channel. 相似文献
110.
光纤传感技术已广泛应用于航空航天、石油化工、电子电力、土木工程、生物医药等领域,其技术形式主要体现为分立式和分布式.分立式光纤传感技术利用光纤敏感器件作为传感器来感知被测参量的变化,光纤作为光信号的传输通道连接光纤传感器及后端的解调装置;分布式光纤传感系统基于光纤瑞利散射、拉曼散射或布里渊散射等光学效应,利用光纤本身作为传感器,可对沿途的光信号进行大范围、长距离传感.本文介绍了分立式与分布式光纤传感中主要关键技术的研究进展,并对未来的研究和发展方向进行了探讨. 相似文献